Title

Mikro-Nano-Integration für die Mikrosystemtechnik: Der Zugang zur Nanowelt

Title Supplement
Projektinformationen zu 24 BMBF geförderten wissenschaftlichen Vorhaben im Rahmenprogramm Mikrosysteme (2004-2009) für die Abschlusspräsentation am 13. und 14. März 2008 in Berlin
Corporate Author
Bundesministerium für Bildung und Forschung -BMBF-
VDI/VDE-Technologiezentrum Informationstechnik
Publishing Place
Berlin
Publication Date
2008