Title

10. GMM-Workshop Methoden und Werkzeuge zum Entwurf von Mikrosystemen 2004. Tagungsband

Title Supplement
Mit dem Schwerpunkt Integration von Mikrosystemen - Methoden und Prozesse und den gemeinsamen Abschlussseminaren zu den BMBF-Verbundprojekten EIWOS, MODSYS, REMIKOS; 20. bis 22. Oktober 2004, Cottbus
Person Involved
Corporate Author
VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik -GMM-
Publisher
Publishing Place
Paderborn
Publication Date
2004
Conference