Title

Kathodenzerstäubung - der Schlüssel für innovative Dünnschichtprodukte
Titel Supplements
Seminar, 25. - 26. Februar 2015, Braunschweig
Institut
Ostbayerisches Technologie-Transfer-Institut e.V. -OTTI-, Regensburg
Fraunhofer-Institut für Schicht- und Oberflächentechnik -IST-, Braunschweig
Verlag
Verlagsort
Regensburg
Datum
2015
Konferenz