Title

Kathodenzerstäubung - der Schlüssel für innovative Dünnschichtprodukte

Title Supplement

Seminar, 25. - 26. Februar 2015, Braunschweig

Corporate Author

Ostbayerisches Technologie-Transfer-Institut e.V. -OTTI-, Regensburg

Fraunhofer-Institut für Schicht- und Oberflächentechnik -IST-, Braunschweig

Publisher

Publishing Place

Regensburg

Publication Date

2015

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