Title

MOEMS and Miniaturized Systems XVIII
Titel Supplements
2-4 February 2019, San Francisco, California, United States
Hrsg
Piyawattanametha, Wibool
Institut
Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers -SPIE-, Bellingham/Wash.
Verlag
Verlagsort
Bellingham, WA
Datum
2019
Serie
Proceedings of SPIE
ISBN
978-1-5106-2504-4
978-1-5106-2505-1
Konferenz