Title

Mikroelektronik '97. Vorträge der GMM-Fachtagung

Person Involved

Corporate Author

VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik -GMM-

Publisher

Publishing Place

Berlin

Publication Date

1997

Series

GMM-Fachbericht; 17

ISBN

3-8007-2247-X

Conference