Title

Workshop Verfahren für die Großflächenbeschichtung mit Halbleitermaterialien 2006. Tagungsband

Title Supplement

am 18. Oktober 2006 in Wörlitz, Sachsen-Anhalt

Corporate Author

Europäische Forschungsgesellschaft Dünne Schichten e.V. -EFDS-

Publisher

Publishing Place

Dresden

Publication Date

2006

Series

EFDS-Tagungsband; 51

Conference