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Title
4. Fachtagung Metrologie in der Mikro- und Nanotechnik 2011
Title Supplement
Messprinzipien, Messgeräte, Anwendungen ; Erlangen, 25. und 26. Oktober 2011
Corporate Author
VDI/VDE-Gesellschaft Meß- und Automatisierungstechnik -GMA-, Düsseldorf
Publisher
Publishing Place
Düsseldorf
Publication Date
2011
Series
VDI-Berichte; 2133
ISBN
978-3-18-092133-4