Title

Mikro-Nano-Integration
Titel Supplements
Beiträge des 8. GMM-Workshops, 15. - 17.09.2020, Online-Veranstaltung, CD-ROM
Institut
VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik -GMM-
Verlag
Verlagsort
Berlin
Datum
2020
Serie
GMM-Fachbericht
ISBN
978-3-8007-5326-0
3-8007-5326-X
Konferenz