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Fraunhofer-Gesellschaft
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  4. Simulation von Mikrosystemen
 
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1993
Conference Paper
Title

Simulation von Mikrosystemen

Abstract
Die Mikrosystemtechnik (MST), also die Zusammenführung elektronischer und nichtelektronischer Teilsysteme auf engstem Raum, ist eine Schlüsseltechnologie der nächsten Jahre und Jahrzehnte. Für die einzelnen Teilgebiete der Mikrosystemtechnik (Elektronik, Mechanik, Optik, ...) existieren ausgefeilte Modellierungs- und Simulationsmethoden, die eine weitgehende Rechnerunterstützung ermöglichen. Schrittmacher ist dabei wohl die Mikroelektronik gewesen, der Entwicklung eng mit leistungsfähigen CAD-Tools verbunden ist. Aber auch für die zwei- und dreidimensionale Simulation der Verformung mechanischer Körper existieren ausgezeichnete Programmsysteme. Die Modellierung und Simulation von echten Mikrosystemen (MS), also nicht nur die isolierte Betrachtung der einzelnen Teilsysteme, steht dagegen erst am Anfang. Modellierungsmethoden, Beschreibungsmittel und Schnittstellen, genügend allgemeine Simulationsprogramme bzw. gekoppelte Simulatoren, Entwurfsumgebungen und Frameworks müssen erst an die Erfordernisse der MST angepaßt und erheblich weiterentwickelt werden.
Author(s)
Schwarz, P.
Mainwork
Entwicklung von Analogschaltungen mit CAE-Methoden mit dem Schwerpunkt Analoge Systemtechnik 1993. 2. Diskussionssitzung  
Conference
Diskussionssitzung Entwicklung von Analogschaltungen mit CAE-Methoden 1993  
Language
German
Fraunhofer-Institut für Integrierte Schaltungen IIS  
Keyword(s)
  • Mikrosystem

  • Modellierung

  • Simulation

  • Beschreibungsmittel

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