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Abschlussarbeit
Trockenätzverfahren für die Herstellung von monolithisch integrierten optoelektronischen Schaltkreisen
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1997
Doctoral Thesis
Title
Trockenätzverfahren für die Herstellung von monolithisch integrierten optoelektronischen Schaltkreisen
Thesis Note
Zugl.: Aachen, TH, Diss., 1996
Author(s)
Daleiden, J.
Publisher
Shaker
Publishing Place
Aachen
Language
German
Fraunhofer-Institut für Angewandte Festkörperphysik IAF
Keyword(s)
CAIBE
GaAs
Halbleiterlaser
InP
Trockenätzen