Publica
Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
Trockenätzverfahren für die Herstellung von monolithisch integrierten optoelektronischen Schaltkreisen
:
Daleiden, J.
Aachen: Shaker, 1997, III, 155 pp. : Ill.
Zugl.: Aachen, TH, Diss., 1996
Berichte aus der Elektrotechnik
ISBN: 3-8265-2406-3
German
Dissertation
Fraunhofer IAF
(
)
CAIBE
;
GaAs
;
Halbleiterlaser
;
InP
;
Trockenätzen
:
http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-58164.html
