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Fraunhofer-Gesellschaft
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  4. Trockenätzverfahren für die Herstellung von monolithisch integrierten optoelektronischen Schaltkreisen
 
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1997
Doctoral Thesis
Title

Trockenätzverfahren für die Herstellung von monolithisch integrierten optoelektronischen Schaltkreisen

Thesis Note
Zugl.: Aachen, TH, Diss., 1996
Author(s)
Daleiden, J.
Publisher
Shaker  
Publishing Place
Aachen
Language
German
Fraunhofer-Institut für Angewandte Festkörperphysik IAF  
Keyword(s)
  • CAIBE

  • GaAs

  • Halbleiterlaser

  • InP

  • Trockenätzen

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