Publica
Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten. Verfahren zur Oberflaechenbehandlung eines Quarzglassubstrates und dessen Anwendung
Process for the surface treatment of a silica glass substrate and its application
| DE 1984-3403378 A: 19840201 |
| DE 1984-3403378 A: 19840201 |
| DE 3403378 C3: 19910418 |
| C03C0017 |
|
| German |
| Patent, Electronic Publication |
| Fraunhofer IAF () |
Abstract
Bei einem Verfahren zur Oberflaechenbehandlung eines Quarzglassubstrates wird eine mechanisch, thermisch und chemisch resistente transparente Mullitschicht erzeugt, indem zunaechst metallisches Aluminium auf die Quarzglasoberflaeche aufgetragen wird, anschliessend eine thermische Oxidation des Aluminiums zu Aluminiumoxid bei einer ueber 600GradC liegenden Temperatur an Luft erfolgt und schliesslich bei einer Temperatur von wenigstens 1200GradC eine Umwandlung der Aluminiumoxidschicht zu Mullit durchgefuehrt wird.