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Patent
Title
Verfahren zur Oberflaechenbehandlung eines Quarzglassubstrates und dessen Anwendung
Other Title
Process for the surface treatment of a silica glass substrate and its application
Abstract
Bei einem Verfahren zur Oberflaechenbehandlung eines Quarzglassubstrates wird eine mechanisch, thermisch und chemisch resistente transparente Mullitschicht erzeugt, indem zunaechst metallisches Aluminium auf die Quarzglasoberflaeche aufgetragen wird, anschliessend eine thermische Oxidation des Aluminiums zu Aluminiumoxid bei einer ueber 600GradC liegenden Temperatur an Luft erfolgt und schliesslich bei einer Temperatur von wenigstens 1200GradC eine Umwandlung der Aluminiumoxidschicht zu Mullit durchgefuehrt wird.
Inventor(s)
Brandt, G.
Patent Number
1984-3403378
Publication Date
1991
Language
German