Partikelmessungen in Druckgasen

Dieser Vortrag behandelt die partikulären Kontaminationen und deren Erfassung. Im ersten Teil werden die Partikelmeßmethoden näher beschrieben, sowie auf die Meßgeräte, Meßmethoden und Methoden der Probenahmen eingegangen. Anschließend wird auf die generellen Anwendungsmöglichkeiten der Partikelmeßtechnik in Gasen eingegangen, wo sie als Qualifizierungs- und Optimierungshilfsmittel Verwendung findet.