Publica
Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten. Optimierte Durchführung von Partikelmessungen durch Steigerung des Know-hows des Meßdurchführenden
| VDI-Gesellschaft Technische Gebäudeausrüstung:
Qualitätssicherung in der Reinraumtechnik. Tagungsband : Tagung Stuttgart, 27. und 28. September 1993
Düsseldorf: VDI-Verlag, 1994 (VDI-Berichte 1095)
ISBN: 3-18-091095-X
pp.183-196 |
| Tagung "Qualitätssicherung in der Reinraumtechnik" <1993, Stuttgart> |
|
| German |
| Conference Paper |
| Fraunhofer IPA () |
| Meßdurchführung; Meßgerät; Partikelmessung; Reinraum; Teilchen |
Abstract
Dieser Aufsatz stellt keine neuen Erkenntnisse der Partikelmeßtechnik dar, sondern ist eine Zusammenfassung der Erkenntnisse bei Vorgehensweisen die bei Messungen in Projekten am IPA gesammelt wurden. Als wesentliches ist das Partikelmeßtechnikprojekt zu nennen, bei dem 18 Firmen beteiligt waren (Auflistung siehe Anhang). In dem Aufsatz werden nur Vorgehensweisen bei Partikelmessungen in Gasen unter Druck, Luft und in Flüssigkeiten betrachtet. Dabei wird kein Anspruch auf Vollständigkeit für die vorgestellten Vorgehensweise erhoben. Ebenso ist es möglich, daß in Abhängigkeit der Aufgabenstellung die eine oder andere Meßdurchführung gegenüber der hier gezeigten Vorgehensweise modifiziert durchgeführt wird.