Publica
Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten. Optical studies of hydrogenated amorphous carbon plasma deposition
| Applied Physics Letters 48 (1986), No.2, pp.106-108 : Abb.,Lit.
ISSN: 0003-6951 (Print)
ISSN: 1077-3118 |
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| English |
| Journal Article |
| Fraunhofer IAF () |
| Abscheidung; Plasmacharakterisierung(optisch) |