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Optical studies of hydrogenated amorphous carbon plasma deposition
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1986
Journal Article
Title
Optical studies of hydrogenated amorphous carbon plasma deposition
Author(s)
Pohl, F.
Koidl, P.
Fraunhofer-Institut für Angewandte Festkörperphysik IAF
Wagner, J.
Wild, C.
Fraunhofer-Institut für Angewandte Festkörperphysik IAF
Journal
Applied Physics Letters
DOI
10.1063/1.96967
Language
English
Fraunhofer-Institut für Angewandte Festkörperphysik IAF
Keyword(s)
Abscheidung
Plasmacharakterisierung(optisch)
