Publica

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Meßergebnisse werden übertragbar. Untersuchung der Partikelreinheit von Werkstück- und Geräteoberflächen

	Produktion (1992), No.33, pp.18-19 ISSN: 0032-9967 ISSN: 0344-6166

	German
	Journal Article
	Fraunhofer IPA ()
	Gerät; Oberfläche; Oberflächenprüfung; Partikelreinheit; Teilchen; Werkstück

Abstract
Werkstück- und Geräteoberflächen können mit den unterschiedlichsten Verfahren auf ihre Partikelreinheit untersucht werden, jedoch sind die Ergebnisse in den meisten Fällen nicht miteinander vergleichbar. Aus diesem Grund wurde am Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung (IPA) eine universelle Prüfeinrichtung entwickelt, die es für alle technischen Oberflächen ermöglicht, mit Hilfe eines automatisierten Lichtmikroskops auch stark strukturierte Oberflächen auf ihre partikuläre Verunreinigung zu untersuchen.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-23467.html