Meßergebnisse werden übertragbar. Untersuchung der Partikelreinheit von Werkstück- und Geräteoberflächen

Werkstück- und Geräteoberflächen können mit den unterschiedlichsten Verfahren auf ihre Partikelreinheit untersucht werden, jedoch sind die Ergebnisse in den meisten Fällen nicht miteinander vergleichbar. Aus diesem Grund wurde am Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung (IPA) eine universelle Prüfeinrichtung entwickelt, die es für alle technischen Oberflächen ermöglicht, mit Hilfe eines automatisierten Lichtmikroskops auch stark strukturierte Oberflächen auf ihre partikuläre Verunreinigung zu untersuchen.