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2012
Presentation
Titel
Reinheitsspezifikationen der Halbleiterindustrie an Werkstoffen
Titel Supplements
Vortrag gehalten auf der Lounges 2012, Vision Pharma 2012, 28. Februar bis 1. März 2012, Karlsruhe
Abstract
Zur Bestimmung des Reinraum- und Reinheitstauglichkeitesverhaltens von Werkstoffen für sauberkeitskritische Produktionsumgebungen müssen das Partikelemissionsverhalten, das VOC-Spektrum als auch die Reinigbarkeit von Oberflächen bestimmt werden. Der Vortrag gibt einen Abriss über mögliche Vorgehenweisen, Messstrategien, Bewertungstechniken und -algorithmen. Zur Veranschaulichung werden Beispiele aus unterschiedlichen Anwendungsszenarien herangezogen.