Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Preparation and characterization of ultra-thin cobalt silicide for VLSI applications

 
: Kal, S.; Kasko, I.; Ryssel, H.

:
Postprint (PDF; )

Bulletin of materials science 18 (1995), pp.531ff
ISSN: 0250-4707
English
Journal Article, Electronic Publication
Fraunhofer IIS B ( IISB) ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-29239.html