Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2021240-GHz Reflectometer-Based Dielectric Sensor with Integrated Transducers in a 130-nm SiGe BiCMOS Technology
Wang, D.; Eissa, M.H.; Schmalz, K.; Kämpfe, T.; Kissinger, D.
Zeitschriftenaufsatz
2021A 61-GHz Rectifier Using Internal Voltage Cancellation and Body-Biasing Techniques in 22-nm FDSOI
Harutyunyan, A.; Landwehr, M.
Zeitschriftenaufsatz
2021A 61-GHz RFID frontend with SiGe transceiver MMIC and SIW coupling network
Funke, Dominic A.; Hansen, Steffen; Bredendiek, Christian; Grenter, Thorben; Bögel, Gerd vom; Harutyunyan, Armen; Fiedler, Raik; Heinig, Andreas; Pohl, Nils
Konferenzbeitrag
2021Aging in Ferroelectric Si-Doped Hafnium Oxide Thin Films
Mart, C.; Kohlenbach, N.-D.; Kühnel, K.; Eßlinger, S.; Czernohorsky, M.; Ali, T.; Weinreich, W.; Eng, L.M.
Zeitschriftenaufsatz
2021All-silicon ultrasonic recognition of the environment
Kaiser, Bert
Vortrag
2021Analog Spatial Light Modulators Based on Micromirror Arrays
Dauderstädt, U.; Dürr, P.; Gehner, A.; Wagner, M.; Schenk, H.
Zeitschriftenaufsatz
2021Challenges of monolithic MEMS-on-CMOS integration for spatial light modulators
Hohle, C.; Döring, S.; Friedrichs, M.; Gehner, A.; Rudloff, D.; Schulze, M.; Stübner, R.; Trenkler, D.
Konferenzbeitrag
2021Comparison of Analog and Noise Performance between Buried Channel versus Surface Devices in HKMG I/O Devices
Pirro, L.; Jayakumar, A.; Zimmerhackl, O.; Lipp, D.; Illgen, R.; Muehlhoff, A.; Pfuetzner, R.; Zaka, A.; Otto, M.; Hoentschel, J.; Raffel, Y.; Seidel, K.; Olivo, R.
Konferenzbeitrag
2021Coulomb-actuated microbeams revisited: Experimental and numerical modal decomposition of the saddle-node bifurcation
Melnikov, A.; Schenk, H.A.G.; Monsalve, J.M.; Wall, F.; Stolz, M.; Mrosk, A.; Langa, S.; Kaiser, B.
Zeitschriftenaufsatz
2021Doping concentration dependent piezoelectric behavior of Si:HfO2 thin-films
Kirbach, S.; Lederer, M.; Eßlinger, S.; Mart, C.; Czernohorsky, M.; Weinreich, W.; Wallmersperger, T.
Zeitschriftenaufsatz
2021Drahtloser Datenbus
Schneider, Tobias; Kirrbach, René; Faulwaßer, Michael; Noack, Alexander
Patent
2021Empirical Large-Signal Modeling of mm-Wave FDSOI CMOS Based on Angelov Model
Le, Q.H.; Huynh, D.K.; Lehmann, S.; Zhao, Z.; Kämpfe, T.; Rudolph, M.
Zeitschriftenaufsatz
2021Enhanced pyroelectric response at morphotropic and field-induced phase transitions in ferroelectric hafnium oxide thin films
Mart, C.; Kämpfe, T.; Kühnel, K.; Czernohorsky, M.; Kolodinski, S.; Wiatr, M.; Weinreich, W.; Eng, L.M.
Zeitschriftenaufsatz
2021Ferroelectric Field Effect Transistors as a Synapse for Neuromorphic Application
Lederer, M.; Kämpfe, T.; Ali, T.; Müller, F.; Olivo, R.; Hoffmann, R.; Laleni, N.; Seidel, K.
Zeitschriftenaufsatz
2021Ferroelektrischer Dünnschichttransistor und Verfahren zum Herstellen eines ferroelektrischen Dünnschichttransistors
Ali, Tarek Nadi Ismail; Polakowski, Patrick; Seidel, Konrad
Patent
2021A Fully Integrated Ferroelectric Thin-Film-Transistor - Influence of Device Scaling on Threshold Voltage Compensation in Displays
Lehninger, D.; Ellinger, M.; Ali, T.; Li, S.; Mertens, K.; Lederer, M.; Olivio, R.; Kampfe, T.; Hanisch, N.; Biedermann, K.; Rudolph, M.; Brackmann, V.; Sanctis, C.; Jank, M.; Seidel, K.
Zeitschriftenaufsatz
2021Impact of the Nonlinear Dielectric Hysteresis Properties of a Charge Trap Layer in a Novel Hybrid High-Speed and Low-Power Ferroelectric or Antiferroelectric HSO/HZO Boosted Charge Trap Memory
Ali, T.; Mertens, K.; Olivo, R.; Rudolph, M.; Oehler, S.; Kuhnel, K.; Lehninger, D.; Muller, F.; Hoffmann, R.; Schramm, P.; Biedermann, K.; Metzger, J.; Binder, R.; Czernohorsky, M.; Kampfe, T.; Muller, J.; Seidel, K.; Houdt, J. Van; Eng, L.M.
Zeitschriftenaufsatz
2021Impact of the SiO2 interface layer on the crystallographic texture of ferroelectric hafnium oxide
Lederer, M.; Reck, A.; Mertens, K.; Olivo, R.; Bagul, P.; Kia, A.; Volkmann, B.; Kämpfe, T.; Seidel, K.; Eng, L.M.
Zeitschriftenaufsatz
2021Kinetics of the Light and Elevated Temperature Induced Degradation and Regeneration of Quasi-Monocrystalline Silicon Solar Cells
Wehmeier, N.; Fischer, G.; Herlufsen, S.; Wolny, F.; Wagner, M.; Bothe, K.; Müller, M.
Zeitschriftenaufsatz
2021MEMS component with in-plane movable element and method for operating same
Kaiser, Bert
Patent
2021MEMS component, assembly comprising the MEMS component and method for operating the MEMS component
Kaiser, Bert; Monsalve Guaracao, Jorge Mario; Conrad, Holger
Patent
2021MEMS-Aktuator und MEMS-Aktuator-Array mit einer Mehrzahl von MEMS-Aktuatoren
Dürr, Peter
Patent
2021MEMS-Aktuator-Element und MEMS-Aktuator-Array mit einer Mehrzahl von MEMS-Aktuator-Elementen
Dürr, Peter; Neudert, Andreas; Felsberg, Linda
Patent
2021Method for controlling a driver circuit, driver circuit, system comprising a driver circuit and method for manufacturing an integrated circuit
Fiedler, Raik; Pietzsch, Marcus
Patent
2021Multi‐Level Switching and Reversible Current Driven Domain‐Wall Motion in Single CoFeB/MgO/CoFeB‐Based Perpendicular Magnetic Tunnel Junctions
Lv, H.; Fidalgo, J.; Silva, A.V.; Leitao, D.C.; Kämpfe, T.; Langer, J.; Wrona, J.; Ocker, B.; Freitas, P.P.; Cardoso, S.
Zeitschriftenaufsatz
2021On the Origin of Wake-Up and Antiferroelectric-Like Behavior in Ferroelectric Hafnium Oxide
Lederer, M.; Olivo, R.; Lehninger, D.; Abdulazhanov, S.; Kämpfe, T.; Kirbach, S.; Mart, C.; Seidel, K.; Eng, L.M.
Zeitschriftenaufsatz
2021Optical microsystems for advanced imaging in biomedicine
Scholles, Michael
Abstract
2021Prozesskette zur Faltmontage für miniaturisierte komplexe Optiksysteme
Grüger, H.; Sdrenka, S.; Stein, K.; Sabiha, M.; Schulz, M.; Ziegmann, G.
Vortrag
2021Sensor mit einer Festkörper-Schichtstruktur und Verfahren zur Herstellung eines Sensors
Kurth, Eberhard; Kunath, Christian
Patent
2021SmartSpectrometer - Embedded Optical Spectroscopy for Applications in Agriculture and Industry
Krause, Julius; Grüger, Heinrich; Gebauer, Lucie; Zheng, Xiaorong; Knobbe, Jens; Pügner, Tino; Kicherer, Anna; Gruna, Robin; Längle, Thomas; Beyerer, Jürgen
Zeitschriftenaufsatz
2021Thermo Optical Phase Shifter with Low Thermal Crosstalk for SOI Strip Waveguide
Sabouri, S.; Mendoza Velasco, L.A.; Catuneanu, M.; Namdari, M.; Jamshidi, K.
Zeitschriftenaufsatz
2021Validation of Computational Procedures for the Progressive Collapse Analysis of Reinforced Concrete Structures
Dmitriev, A.; Lalin, V.; Melnikov, A.
Konferenzbeitrag
2021WS2 and MoS2 counter electrode materials for dye‐sensitized solar cells
Rashidi, S.; Rashidi, S.; Heydari, R.K.; Esmaeili, S.; Tran, N.; Thangi, D.; Wei, W.
Zeitschriftenaufsatz
2020240-GHz reflectometer with integrated transducer for dielectric spectroscopy in a 130-nm SiGe BiCMOS technology
Wang, D.; Eissa, M.H.; Schmalz, K.; Kämpfe, T.; Kissinger, D.
Konferenzbeitrag
2020480-GHz Sensor With Subharmonic Mixer and Integrated Transducer in a 130-nm SiGe BiCMOS Technology
Wang, D.; Eissa, M.H.; Schmalz, K.; Kampfe, T.; Kissinger, D.
Zeitschriftenaufsatz
20205 mm Range 61 GHz System on Chip EPC Gen2 RFID tag in 22nm FD-SOI Technology
Harutyunyan, A.; Heinig, A.; Fiedler, R.; Landwehr, M.; Hildebrandt, R.; Holland, H.-J.
Konferenzbeitrag
2020Acoustic bending converter system and acoustic device
Kaiser, Bert
Patent
2020Analysis of Hot-Carrier Degradation in 22nm FDSOI Transistors Using RF Small-Signal Characteristics
Huynh, D.K.; Le, Q.H.; Duhan, P.; Wang, D.; Kampfe, T.; Rudolph, M.
Konferenzbeitrag
2020Analysis of the composition of tantalum nitride in CMOS metallization trenches using parallel angle‐resolved XPS
Wehring, B.; Gerlich, L.; Kia, A.M.; Wislicenus, M.; Uhlig, B.
Zeitschriftenaufsatz
2020Analysis of the Reliability of Ferroelectric Field Effect Transistors in Combination with Crossbar Circuits for Neuromorphic Computing
Hoffmann, Tudor
: Kämpfe, Thomas (Betreuer); Messaris, Ioannis (Betreuer)
Diplomarbeit
2020Antiferroelectric Si:HfO2 for High Energy Storage using 3D MIM Capacitors
Viegas, A.; Mart, C.; Czernohorsky, M.
Konferenzbeitrag
2020Automatisierte Berechnung und Visualisierung von Komorbiditätsindizes für den Tumorboard-Entscheid
Wald, T.; Birnbaum, Klemens; Wiegand, S.; Dietz, A.; Zebralla, V.; Wichmann, G.
Zeitschriftenaufsatz
2020Automatisierte Berechnung und Visualisierung von Komorbiditätsindizes für den Tumorboard-Entscheid
Wald, T.; Birnbaum, K.; Wiegand, S.; Dietz, A.; Zebralla, V.; Wichmann, G.
Zeitschriftenaufsatz
2020Back-End-of-Line Compatible Low-Temperature Furnace Anneal for Ferroelectric Hafnium Zirconium Oxide Formation
Lehninger, D.; Olivo, R.; Ali, T.; Lederer, M.; Kämpfe, T.; Mart, C.; Biedermann, K.; Kühnel, K.; Roy, L.; Kalkani, M.; Seidel, K.
Zeitschriftenaufsatz
2020Bauelement und Verfahren zum Herstellen eines Bauelements
Kirbach, Sven; Weinreich, Wenke; Mart, Clemens; Zybell, Sabine; Haufe, Nora
Patent
2020Bending transducer as an actuator, bending transducer as a sensor, bending transducer system
Schenk, Hermann; Kaiser, Bert; Ehrig, Lutz
Patent
2020BEoL Reliability, XPS and REELS Study on low-k Dielectrics to understand Breakdown Mechanisms
Wehring, Bettina; Hoffmann, R.; Gerlich, Lukas; Czernohorsky, Malte; Uhlig, B.; Seidel, R.; Barchewitz, T.; Schlaphof, F.; Meinshausen, L.; Leyens, C.
Konferenzbeitrag
2020Chapter 49 - Micro mirrors
Schenk, Harald; Schulze, Matthias
Aufsatz in Buch
2020Development and Characterization of Transition Metal Silicides for Metallization Application
Hamtaei, Sarallah
: Sorgenfrei, Tina; Fiederle, Michael
Master Thesis
2020Development of Rutile Titanium Oxide Thin Films as Battery Material Component Using Atomic Layer Deposition
Kia, A.M.; Bönhardt, S.; Zybell, S.; Kühnel, K.; Haufe, N.; Weinreich, W.
Zeitschriftenaufsatz
2020Doping Effects in CMOS‐compatible CoSi Thin Films for Thermoelectric and Sensor Applications
Nichenametla, Charan Krishna; Calvo, Jesús; Riedel, Stefan; Gerlich, Lukas; Hindenberg, Meike; Novikov, Sergej; Alexander Burkov; Kozelj, Primoz; Cardoso-Gil, Raul; Wagner-Reetz, Maik
Zeitschriftenaufsatz
2020Effect of Substrate Implant Tuning on the Performance of MFIS Silicon Doped Hafnium Oxide (HSO) FeFET Memory
Ali, T.; Kühnel, K.; Mertens, K.; Czernohorsky, M.; Rudolph, M.; Duhan, P.; Lehninger, D.; Hoffmann, R.; Steinke, P.; Müller, J.; Houdt, J. van; Seidel, K.; Eng, L.M.
Konferenzbeitrag
2020Efficient FeFET crossbar accelerator for binary neural networks
Soliman, T.; Olivo, R.; Kirchner, T.; Parra, C. de la; Lederer, M.; Kämpfe, T.; Guntoro, A.; Wehn, N.
Konferenzbeitrag
2020The electrocaloric effect in doped hafnium oxide: Comparison of direct and indirect measurements
Mart, C.; Kämpfe, T.; Czernohorsky, M.; Eßlinger, S.; Kolodinski, S.; Wiatr, M.; Weinreich, W.; Eng, L.M.
Zeitschriftenaufsatz
2020Entwicklung eines analogen 100MBIT / s-Transceiver-Frontends für die LI-FI-Kommunikation mit harten Echtzeitanforderungen
Jakob, Benjamin
: Kirrbach, René (Betreuer); Fischer, Wolf-Joachim (Betreuer)
Diplomarbeit
2020Entwicklung eines Aufbaus für die teilautomatisierte Montage von Mikrospektrometern
Kruse, Jens
: Seelig, D. (Betreuer); Knobbe, J. (Betreuer)
Diplomarbeit
2020Entwicklung eines integrierten, digitalen Empfängers für echtzeitfähige, leitungsungebundene, optische Übertragungen
Steinbach, Hagen
: Fitz, R. (Betreuer); Ebberg, A. (Betreuer); Faulwaßer, M. (Betreuer)
Master Thesis
2020Entwurf, Konstruktion und Vorbereitung des Aufbaus eines hochminiaturisierten Gitterspektrometers für den Nahinfrarotbereich
Starcke, Antonia Jasmin
: Beyerlein, Mathias; Grüger, Heinrich
Bachelor Thesis
2020FeFET: A versatile CMOS compatible device with game-changing potential
Beyer, S.; Dünkel, S.; Trentzsch, M.; Müller, J.; Hellmich, A.; Utess, D.; Paul, J.; Kleimaier, D.; Pellerin, J.; Müller, S.; Ocker, J.; Benoist, A.; Zhou, H.; Mennenga, M.; Schuster, M.; Tassan, F.; Noack, M.; Pourkeramati, A.; Müller, F.; Lederer, M.; Ali, T.; Hoffmann, R.; Kämpfe, T.; Seidel, K.; Mulaosmanovic, H.; Breyer, E.T.; Mikolajick, T.; Slesazeck, S.
Konferenzbeitrag
2020Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme. Jahresbericht 2019
 
Jahresbericht
2020Gekrümmte Lichtleiterstruktur, Verfahren zum Herstellen derselben und optisches Überwachungssystem
Schneider, Tobias; Kirrbach, René
Patent
2020Gleichrichter für Millimeter-Wellen-Wechselspannungssignale
Harutyunyan, Armen
Patent
2020HfO2-based ferroelectric FETs: Performance of single devices and mini-arrays
Mulaosmanovic, H.; Müller, F.; Breyer, E.T.; Dünkel, S.; Trentzsch, M.; Beyer, S.; Mikolajick, T.; Slesazeck, S.
Konferenzbeitrag
2020Impact of Ferroelectric Wakeup on Reliability of Laminate based Si-doped Hafnium Oxide (HSO) FeFET Memory Cells
Ali, T.; Kühnel, K.; Czernohorsky, M.; Rudolph, M.; Pätzold, B.; Olivo, R.; Lehninger, D.; Mertens, K.; Müller, F.; Lederer, M.; Hoffmann, R.; Mart, C.; Kalkani, M.N.; Steinke, P.; Kämpfe, T.; Müller, J.; Houdt, J. van; Seidel, K.; Eng, L.M.
Konferenzbeitrag
2020Implementierung und Erprobung einer portablen Sensorplattform auf Basis von RISC-V
Enseleit, Stephan
: Fengler Wolfgang (Betreuer); Weder, Andreas (Betreuer)
Bachelor Thesis
2020Innovative Concept of Tunable ECDLs Based on MEMS in the NIR and MIR Spectral Regime
Hoppe, M.; Rohling, H.; Schmidtmann, S.; Tatenguem, H.; Grahmann, J.; Milde, T.; Schanze, T.; Sacher, J.R.
Konferenzbeitrag
2020Integration of Hafnium Oxide on Epitaxial SiGe for p-type Ferroelectric FET Application
Lederer, M.; Müller, F.; Kühnel, K.; Olivo, R.; Mertens, K.; Trentzsch, M.; Dünkel, S.; Müller, J.; Beyer, S.; Seidel, K.; Kämpfe, T.; Eng, L.M.
Zeitschriftenaufsatz
2020Interplay Between Switching and Retention in HfO2-Based Ferroelectric FETs
Mulaosmanovic, H.; Müller, F.; Lederer, M.; Ali, T.; Hoffmann, R.; Seidel, K.; Zhou, H.; Ocker, J.; Mueller, S.; Dunkel, S.; Kleimaier, D.; Muller, J.; Trentzsch, M.; Beyer, S.; Breyer, E.T.; Mikolajick, T.; Slesazeck, S.
Zeitschriftenaufsatz
2020Kundenakquise öffentlicher Forschungseinrichtungen in Deutschland. Eine explorative Fallstudie zum Einfluss von Kommunikationskanälen bei der Vermarktung von F&E Dienstleistungen
Grebe, Steffen
: Schefczyk, Michael (Betreuer); Ernst, Cornelia (Betreuer); Titze, Stephan (Betreuer)
Diplomarbeit
2020Mechanische gekoppelte mikroelektromechanische Ultraschallwandler
Krenkel, Marcel
: Richter, A. (Betreuer); Gerlach, G. (Betreuer)
Dissertation
2020Mikromechanische Struktur, mikromechanisches System und Verfahren zum Bereitstellen einer mikromechanischen Struktur
Drabe, Christian; Dreyhaupt, André
Patent
2020Minimization of nonlinearities in nano electrostatic drive actuators using validated coupled-field simulation
Melnikov, Anton; Schenk, Hermann; Wall, Franziska; Spitz, B.; Ehrig, L.; Langa, S.; Stolz, M.; Kaiser, B.; Conrad, H.; Schenk, H.
Konferenzbeitrag
2020Modellierung eines Li-Fi Transceivers zur optischen Freiraumdatenübertragung
Rödel, Jan
: Kirrbach, Rene (Betreuer); Engelbrecht, Rainer (Betreuer)
Bachelor Thesis
2020Modelling of three dimensional deep trench capacitors and identification of parasitic elements
Agarwal, Rishabh
: Czernohorsky, Malte (Betreuer); Lakner, Hubert (Betreuer); Bartha, J.W. (Betreuer)
Master Thesis
2020Monolitic Hybrid Transmitter-Receiver Lens for Rotary On-Axis Communications
Kirrbach, R.; Faulwaßer, M.; Schneider, T.; Meißner, P.; Noack, A.; Deicke, F.
Zeitschriftenaufsatz
2020Novel CMOS-integrated 512x320 tip-tilt micro mirror array and related technology platform
Gehner, Andreas; Döring, S.; Rudloff, D.; Kunze, D.; Dürr, P.; Francés, S.; Hänsel, L.; Torlee, H.; Elgner, A.; Eckert, M.; Friedrichs, M.; Heber, J.; Schmidt, J.; Pufe, W.; Hohle, C.; Schulze, M.; Wagner, M.
Konferenzbeitrag
2020Obtaining Patient-Reported Outcomes Electronically with "OncoFunction" in Head and Neck Cancer Patients During Aftercare
Zebralla, Veit; Müller, Juliane; Wald, Theresa; Boehm, Andreas; Wichmann, Gunnar; Berger, Thomas; Birnbaum, Klemens; Heuermann, Katherina; Oeltze-Jafra, Steffen; Neumuth, Thomas; Singer, Susanne; Büttner, Matthias; Dietz, Andreas; Wiegand, Susanne
Zeitschriftenaufsatz
2020Passiv arbeitender Transponder mit sensitiver Funktionalität
Holland, Hans-Jürgen
Patent
2020Phase formation of a biocompatible Ti-based alloy under kinetic constraints studied via in-situ high-energy X-ray diffraction
Kosiba, K.; Rothkirch, A.; Han, J.; Deng, L.; Escher, B.; Wang, G.; Kühn, U.; Bednarcik, J.
Zeitschriftenaufsatz
2020Piezoelectric Response of Polycrystalline Silicon-Doped Hafnium Oxide Thin Films Determined by Rapid Temperature Cycles
Mart, Clemens; Kämpfe, Thomas; Hoffmann, Raik; Eßlinger, Sophia; Kirbach, Sven; Kühnel, Kati; Czernohorsky, Malte; Eng, Lukas M.; Weinreich, Wenke
Zeitschriftenaufsatz
2020Quantifying non-centrosymmetric orthorhombic phase fraction in 10 nm ferroelectric Hf0.5Zr0.5O2 films
Mukundan, V.; Consiglio, S.; Triyoso, D.H.; Tapily, K.; Schujman, S.; Mart, C.; Kämpfe, T.; Weinreich, W.; Jordan-Sweet, J.; Clark, R.D.; Leusink, G.J.; Diebold, A.C.
Zeitschriftenaufsatz
2020Reconfigurable Acoustic Metagrating for High-Efficiency Anomalous Reflection
Chiang, Y.K.; Oberst, S.; Melnikov, A.; Quan, L.; Marburg, S.; Alù, A.; Powell, D.A.
Zeitschriftenaufsatz
2020Rührer zur drahtlosen und/oder batterielosen Messung von Prozessparametern
Weder, Andreas; Heinig, Andreas
Patent
2020Schöne neue Welt?
Ruffert, Christine
Aufsatz in Buch
2020Sem image denoising and contour image estimation using deep learning
Chaudhary, N.; Savari, S.A.; Brackmann, V.; Friedrich, M.
Konferenzbeitrag
2020Silicon-based microfluid control and switching valves using lateral electrostatic bending actuators
Uhlig, Sebastian; Gaudet, Matthieu; Langa, Sergiu; Ruffert, Christine; Conrad, Holger; Schenk, Harald
Bericht
2020Spannungskontrollierbarer Kondensator mit ferroelektrischer Schicht und Verfahren zum Herstellen des spannungskontrollierbaren Kondensators mit ferroelektrischer Schicht
Kämpfe, Thomas; Polakowski, Patrick; Seidel, Konrad
Patent
2020Spannungskontrollierbarer Kondensator und Verfahren zum Herstellen eines spannungskontrollierbaren Kondensators
Kämpfe, Thomas; Polakowski, Patrick; Seidel, Konrad
Patent
2020Structural and Electrical Comparison of Si and Zr Doped Hafnium Oxide Thin Films and Integrated FeFETs Utilizing Transmission Kikuchi Diffraction
Lederer, M.; Kämpfe, T.; Vogel, N.; Utess, D.; Volkmann, B.; Ali, T.; Olivo, R.; Müller, J.; Beyer, S.; Trentzsch, M.; Seidel, K.; Eng, L.M.
Zeitschriftenaufsatz
2020A Study on the Temperature-Dependent Operation of Fluorite-Structure-Based Ferroelectric HfO2 Memory FeFET: Pyroelectricity and Reliability
Ali, T.; Kühnel, K.; Czernohorsky, M.; Mart, C.; Rudolph, M.; Pätzold, B.; Lehninger, D.; Olivo, R.; Lederer, M.; Müller, F.; Hoffmann, R.; Metzger, J.; Binder, R.; Steinke, P.; Kämpfe, T.; Müller, J.; Seidel, K.; Eng, L.M.
Zeitschriftenaufsatz
2020A Study on the Temperature-Dependent Operation of Fluorite-Structure-Based Ferroelectric HfO2 Memory FeFET: A Temperature-Modulated Operation
Ali, T.; Kühnel, K.; Czernohorsky, M.; Mart, C.; Rudolph, M.; Pätzold, B.; Lederer, M.; Olivo, R.; Lehninger, D.; Müller, F.; Hoffmann, R.; Metzger, J.; Binder, R.; Steinke, P.; Kämpfe, T.; Müller, J.; Seidel, K.; Eng, L.M.
Zeitschriftenaufsatz
2020Surface Dependent Performance of Ultrathin TiN Films as an Electrically Conducting Li Diffusion Barrier for Li-Ion Based Devices
Speulmanns, Jan; Kia, Alireza M.; Kühnel, Kati; Bönhardt, Sascha; Weinreich, Wenke
Zeitschriftenaufsatz
2020System integration of hybrid large aperture micro scanner array for fast scanning LiDAR sensors
Sandner, Thilo; Graßhoff, Thomas; Owe, Wolf-Dietrich; Herrmann, A.; Wildenhain, M.; Schwarzenberg, M.
Konferenzbeitrag
2020Tunable non-volatile memory by conductive ferroelectric domain walls in lithium niobate thin films
Kämpfe, T.; Wang, B.; Haußmann, A.; Chen, L.-Q.; Eng, L.M.
Zeitschriftenaufsatz
2020Ultra-Low PoweR TechnologIes and MEmory architectures for IoT
Seidel, Konrad; Eichler, Uwe
Bericht
2020Untersuchung des Verhaltens von MEMS-Lautsprechern auf mechanischen Schockbelastung
Kulas, Michalina
: Schenk, Harald (Betreuer); Kahmen, Gerhard (Betreuer)
Bachelor Thesis
2020Verfahren zur Authentifizierung eines Nutzers und Authentifizierungssystem
Noack, Alexander
Patent
2020Verpackung mit Transponder und Kryptomodul
Holland, Hans-Jürgen
Patent
2020Vibration analysis of micro mirrors for LIDAR using on-chip piezo-resistive sensor
Grahmann, Jan; Schroedter, R.; Kiethe, Oliver; Todt, Ulrich
Konferenzbeitrag
2020Vorrichtung und Netzwerk zur drahtlosen, optischen Kommunikation
Kirrbach, René; Schneider, Tobias; Noack, Alexander; Faulwaßer, Michael; Deicke, Frank
Patent
2020W-Band Noise Characterization with Back-Gate Effects for Advanced 22nm FDSOI mm-Wave MOSFETs
Le, Q.H.; Huynh, D.K.; Wang, D.; Zhao, Z.; Lehmann, S.; Kämpfe, T.; Rudolph, M.
Konferenzbeitrag
2020Wafer-level vacuum-packaged translatory MEMS actuator with large stroke for NIR-FT spectrometers
Sandner, Thilo; Gaumont, Eric; Graßhoff, Thomas; Rieck, Andreas; Seifert, T.; Auböck, Gerald; Grahmann, Jan
Zeitschriftenaufsatz
2020Whether Ge-Rich ZrO2 and Ge-Rich HfO2 Materials Have Similar Reaction on Annealing Treatment?
Khomenkova, L.; Lehninger, D.; Agocs, E.; Petrik, P.; Portier, X.; Korsunska, N.; Melnichuk, O.; Gourbilleau, F.; Heitmann, J.
Konferenzbeitrag
2020Wide and fast mode-hop free MEMS tunable ECDL concept and realization in the NIR and MIR spectral regime
Hoppe, M.; Rohling, H.; Schmidtmann, S.; Honsberg, M.; Tatenguem, H.; Grahmann, J.; Milde, T.; Schanze, T.; Sacher, J.R.
Konferenzbeitrag
2019240-GHz Four-Channel Power-Tuning Heterodyne Sensing Readout System with Reflection and Transmission Measurements in a 130-nm SiGe BiCMOS Technology
Wang, D.; Eissa, M.H.; Schmalz, K.; Yun, J.; Malignaggi, A.; Borngräber, J.; Kucharski, M.; Kämpfe, T.; Seidel, K.; Ng, H.J.; Kissinger, D.
Zeitschriftenaufsatz
2019Acoustic Validation of Electrostatic All-Silicon MEMS-Speakers
Ehrig, Lutz; Kaiser, Bert; Schenk, Hermann A.G.; Stolz, Michael; Langa, Sergiu; Conrad, Holger; Schenk, Harald; Männchen, Andreas; Brocks, Tobias
Konferenzbeitrag
2019Advances in MOEMS-based external cavity QCLs
Flores, Y.V.; Haertelt, M.; Hugger, S.; Butschek, L.; Schilling, C.; Merten, A.; Schwarzenberg, M.; Dreyhaupt, A.; Grahmann, J.; Rattunde, M.; Ostendorf, R.
Konferenzbeitrag
2019Advances of MOEMS-based external cavity QCLs
Härtelt, Marko; Hugger, Stefan; Butschek, Lorenz; Schilling, Christian; Merten, André; Schwarzenberg, Markus; Dreyhaupt, André; Grahmann, Jan; Rattunde, Marcel; Ostendorf, Ralf
Konferenzbeitrag
2019Analysis of CMOS Metallization Trenches using Angle-Resolved XPS
Wehring, Bettina; Gerlich, Lukas; Wislicenus, Marcus
Poster
2019The annealing effect on memory state stability and interlayer coupling in perpendicular magnetic tunnel junctions with ultrathin MgO barrier
Lv, Hua; Fidalgo, João; Leitão, Diana C.; Silva, Ana V.; Kämpfe, Thomas; Riedel, Stefan; Langer, Juergen; Wrona, Jerzy; Ocker, Berthold; Freitas, Paolo P.; Cardoso, Susana
Zeitschriftenaufsatz
2019Antiferroelektrische, eingebettete Dünnschichtkondensatoren als Energiespeicher für autarke Sensorelemente
Czernohorsky, Malte; Weder, Andreas; Mart, Clemens; Falidas, K.; Kühnel, K.; Viegas, A.E.; Holland, H.-J.; Weinreich, W.
Konferenzbeitrag
2019Assessment of a thick-oxide transistor from the 22FDX® platform for 5G NR sub-6 GHz FEMs
Le, Q.H.; Huynh, D.K.; Wang, D.; Kampfe, T.; Zhao, Z.; Lehmann, S.
Konferenzbeitrag
2019Assessment of conduction mechanisms through MgO ultrathin barriers in CoFeB/MgO/CoFeB perpendicular magnetic tunnel junctions
Lv, Hua; Fidalgo, João; Silva, Ana V.; Leitão, Diana C.; Kämpfe, Thomas; Riedel, Stefan; Langer, Juergen; Wrona, Jerzy; Ocker, Berthold; Freitas, Paolo P.; Cardoso, Susana
Zeitschriftenaufsatz
2019Audio-transducer for in-ear-applications based on CMOS-compatible electrostatic actuators
Spitz, B.; Wall, F.; Schenk, H.A.G.; Melnikov, A.; Ehrig, L.; Langa, S.; Stolz, M.; Kaiser, B.; Conrad, H.; Schenk, H.
Konferenzbeitrag
2019Audio-Transducer für In-Ear Anwendungen auf der Basis CMOS-kompatibler, elektrostatischer Biegeaktoren
Spitz, Barbara; Wall, Franziska; Schenk, Hermann; Melnikov, Anton; Ehrig, Lutz; Langa, Sergiu; Stolz, Michael; Kaiser, Bert; Conrad, Holger; Schenk, Harald
Konferenzbeitrag
2019Ein Beitrag zum Entwurf vibrationsbelasteter Microscanner
Kiethe, Oliver
: Janschek, Klaus; Schroedter, Richard (Betreuer); Todt, Ulrich (Betreuer)
Diplomarbeit
2019Characterisation of ferroelectric thin films with scanning probe microscope methods
Norouzi Kalkani, Mahsa
: Kämpfe, Thomas (Betreuer); Ecke, Ramona (Betreuer); Schulz, Stefan E. (Gutachter)
Master Thesis
2019CMOS-compatible transition metal disilicide for integrated thermoelectric applications
Nichenametla, C.K.; Calvo, J.; Dhavamani, A.; Drescher, M.; Göhler, T.; Wagner-Reetz, M.
Zeitschriftenaufsatz
2019CMUT with mechanically coupled plate actuators - Linearized electrostatic modeling
Krenkel, Marcel; Koch, Sandro; Kupnik, M.
Konferenzbeitrag
2019CMUT with mechanically coupled plate actuators for low frequencies
Krenkel, Marcel; Stolz, Michael; Koch, Sandro G.; Kupnik, Mario
Zeitschriftenaufsatz
2019Co-MOCVD processed seed layer for through silicon via copper metallization
Esmaeili, S.; Lilienthal, K.; Nagy, N.; Gerlich, L.; Krause, R.; Uhlig, B.
Zeitschriftenaufsatz
2019Concept and proof for an all-silicon MEMS micro speaker utilizing air chambers
Kaisers, B.; Langa, S.; Ehrig, L.; Stolz, M.; Schenk, H.; Conrad, H.; Schenk, H.; Schimmanz, K.; Schuftenhauer, D.
Zeitschriftenaufsatz
2019Construction and Characterization of External Cavity Diode Lasers Based on a Microelectromechanical System Device
Hoppe, M.; Jiménez, A.; Rohling, H.; Schmidtmann, S.; Grahmann, J.; Tatenguem, H.; Milde, T.; Schanze, T.; Sacher, J.R.
Zeitschriftenaufsatz
2019Defects in oxidized p-type Si wafers observed by surface photovoltage spectroscopy
Kolkovsky, Vladimir
Zeitschriftenaufsatz
2019Design and fabrication of liquid crystal microring resonator-based tunable optical add-drop filters
Costache, Florenta; Hartwig, H.; Martin, A.; Blasl, M.; Rieck, A.; Namdari, M.
Konferenzbeitrag
2019Development of an illumination module for stroboscopic phase-shift interferometry on MEMS devices
Medeiros Ventura, Luiz Guilherme de; Wolschke, Steffen; Skupsch, Christoph; Berndt, D.
Konferenzbeitrag
2019Device and method for generating a key
Blasl, Martin; Costache, Florenta
Patent
2019Doping hafnium oxide by in-situ precursor mixing
Weinreich, Wenke; Mart, Clemens; Kühnel, Kati; Kämpfe, Thomas; Czernohorsky, Malte
Vortrag
2019Electrical and structural properties of direct current magnetron sputtered amorphous TiAl thin films
Kolkovsky, V.; Schmidt, Jan-Uwe; Döring, S.
Zeitschriftenaufsatz
2019Electrocaloric temperature change in ferroelectric Si-doped hafnium oxide (HfO2) thin films
Mart, C.; Kämpfe, T.; Pätzold, B.; Rudolph, M.; Czernohorsky, M.; Müller, J.; Weinreich, W.
Vortrag
2019Electrocaloric temperature change in ferroelectric Si-doped hafnium oxide (HfO2) thin films
Mart, Clemens; Kämpfe, Thomas; Müller, Johannes; Pätzold, Björn; Rudolph, Matthias; Czernohorsky, Malte; Weinreich, Wenke
Vortrag
2019Electrostatic All-Silicon MEMS Speakers for In-Ear Audio Applications - Acoustic Measurements and Modelling Approach
Ehrig, Lutz; Wall, Franziska; Schenk, Hermann; Langa, Sergiu; Melnikov, Anton; Stolz, Michael; Kaiser, Bert; Conrad, Holger; Schenk, Harald
Konferenzbeitrag
2019Entwurf eines analogen Hochgeschwindigkeits-Frontends für die optische drahtlose Kommunikation
Spundflasche, Martin
: Gärtner, Uwe (Prüfer); Noack, Alexander (Gutachter); Kirrbach, René (Gutachter)
Bachelor Thesis
2019Epitaxial n++-InGaAs ultra-shallow junctions for highly scaled n-MOS devices
Tejedor, P.; Drescher, M.; Vázquez, L.; Wilde, L.
Zeitschriftenaufsatz
2019Ferroelectric and pyroelectric properties of polycrystalline La-doped HfO2 thin films
Mart, Clemens; Kühnel, Kati; Kämpfe, Thomas; Zybell, Sabine; Weinreich, Wenke
Zeitschriftenaufsatz
2019Formation of highly conformal spinel lithium titanate thin films based on a novel three-step atomic layer deposition process
Bönhardt, S.; Kühnel, K.; Kia, A.M.; Weinreich, W.
Zeitschriftenaufsatz
2019Fraunhofer Institute for Photonic Microsystems. Annual Report 2018
 
Jahresbericht
2019Functional carbon nanotubes for MEMS applications: Miniaturized strain sensor and black coating for infrared devices
Böttger, S.; Bonitz, J.; Al-Falahi, F.; Schulz, S.E.; Hermann, S.
Konferenzbeitrag
2019Gate Stack Optimization Toward Disturb-Free Operation of Ferroelectric HSO based FeFET for NAND Applications
Seidel, K.; Ali, T.; Hoffmann, R.; Kühnel, K.; Czernohorsky, M.; Rudolph, M.; Pätzold, B.; Steinke, P.; Zimmermann, K.; Biedermann, K.; Houdt, J. van
Konferenzbeitrag
2019Glow discharge optical emission spectrometry for quantitative depth profiling of CIGS thin-films
Kodalle, T.; Greiner, D.; Brackmann, V.; Prietzel, K.; Scheu, A.; Bertram, T.; Reyes-Figueroa, P.; Unold, T.; Abou-Ras, D.; Schlatmann, R.; Kaufmann, C.A.; Hoffmann, V.
Zeitschriftenaufsatz
2019High-density energy storage in Si-doped hafnium oxide thin films on area-enhanced substrates
Kühnel, Kati; Czernohorsky, M.; Riedel, Steffen; Mart, Clemens; Weinreich, Wenke
Zeitschriftenaufsatz
2019Hybrid assembled MEMS scanner array with large aperture for fast scanning LIDAR systems
Sandner, Thilo; Grasshoff, Thomas; Wildenhain, Michael; Schwarzenberg, M.
Zeitschriftenaufsatz
2019Impedanzanpassungsvorrichtung, Wandlervorrichtung und Verfahren zum Herstellen einer Impedanzanpassungsvorrichtiung
Schweiger, Severin; Koch, Sandro; Grafe, Mario; Lange, Nicolas; Amelung, Jörg
Patent
2019Influence of the dose assignment and fracturing type on patterns exposed by a variable shaped e-beam writer: Simulation vs experiment
Brackmann, V.; Friedrich, M.; Browning, C.; Hanisch, N.; Uhlig, B.
Konferenzbeitrag
2019Inkjet printed adhesives for advanced M(O)EMS packaging
Roshanghias, A.; Ma, Y.; Gaumont, E.; Neumaier, L.
Zeitschriftenaufsatz
2019Integration of complex miniaturized optical systems by place and bend assembly
Grüger, H.; Knobbe, J.; Meyer, S.
Konferenzbeitrag
2019Investigation of mechanical and optical properties of 3D printed materials serving as substrate for place and bend assembly
Grüger, H.; Knobbe, J.; Sabiha, M.H.
Konferenzbeitrag
2019Investigation of Pt-Salt-Doped-Standalone-Multiwall Carbon Nanotubes for On-Chip Interconnect Applications
Liang, J.; Chen, R.; Ramos, R.; Lee, J.; Okuno, H.; Kalita, D.; Georgiev, V.; Berrada, S.; Sadi, T.; Uhlig, B.; Lilienthal, K.; Dhavamani, A.; Könemann, F.; Gotsmann, B.; Goncalves, G.; Chen, B.; Asenov, A.; Dijon, J.; Todri-Sanial, A.
Zeitschriftenaufsatz
2019Ionenmobilitätsspektrometer mit FAIMS-Filter in MEMS-Technologie
Graf, Alexander; Hild, Olaf Rüdiger
Konferenzbeitrag
2019Kern für Echtzeit
Deicke, Frank; Beck, Monika
Internetbeitrag
2019Konzeptentwicklung eines optischen Messplatzes zur präzisen und hochdynamischen Bestimmung des zweidimensionalen Kippwinkels von 2D-Mikrospiegeln als Referenzmesssystem einer Echtzeitregelung
Stolba, Friedrich
: Czarske, Jürgen (Gutachter); Büttner, Lars (Gutachter); Sandner, Thilo (Gutachter)
Diplomarbeit
2019Li-Fi for Augmented Reality Glasses: A Proof of Concept
Kirrbach, René; Faulwaßer, Michael; Jakob, Benjamin; Schneider, Tobias
Konferenzbeitrag
2019Local crystallographic phase detection and texture mapping in ferroelectric Zr doped HfO2 films by transmission-EBSD
Lederer, M.; Kämpfe, T.; Olivo, R.; Lehninger, D.; Mart, C.; Kirbach, S.; Ali, T.; Polakowski, P.; Roy, L.; Seidel, K.
Zeitschriftenaufsatz
2019MEMS Aktuator-Array mit Kammantrieb und verbesserter Linearität
Neudert, A.; Felsberg, L.; Dürr, P.
Konferenzbeitrag
2019MEMS based NIR spectrometer with extended spectral range
Grüger, H.; Knobbe, J.; Pügner, T.
Konferenzbeitrag
2019MEMS mit einem beweglichen Strukturelement und MEMS-Array
Dürr, Peter; Neudert, Andreas
Patent
2019MEMS piston mirror arrays with force-balanced single spring
Dürr, P.; Neudert, A.; Kunze, D.; Friedrichs, M.
Konferenzbeitrag
2019Mikroelektromechanisches Bauteil sowie ein Verfahren zu seiner Herstellung
Döring, Sebastian; Friedrichs, Martin; Hürrich, Arnd; Rudloff, Dirk
Patent
2019Monolithisch ausgestalteter Spektralapparat
Grüger, Heinrich; Knobbe, Jens; Pügner, Tino
Patent
2019Multidirektionale Übersetzungs- und Neigungsplattform unter Verwendung von Biegeaktuatoren als aktive Entität
Gaudet, Matthieu; Kaiser, Bert
Patent
2019A Multilevel FeFET Memory Device based on Laminated HSO and HZO Ferroelectric Layers for High-Density Storage
Ali, T.; Olivo, R.; Lederer, M.; Hoffmann, R.; Steinke, P.; Zimmermann, K.; Mühle, U.; Seidel, K.; Müller, J.; Polakowski, P.; Kühnel, K.; Czernohorsky, M.; Kämpfe, T.; Rudolph, M.; Pätzold, B.; Lehninger, D.; Müller, F.
Konferenzbeitrag
2019Non-rotationally Symmetric Freeform Fresnel-Lenses for Arbitrary Shaped Li-Fi Communication Channels
Kirrbach, René; Faulwaßer, Michael; Jakob, Benjamin
Konferenzbeitrag
2019Novel atomic layer deposition of lithium-containing electrode and electrolyte thin films for 3D all-solid-state batteries
Speulmanns, Jan; Bönhardt, Sascha; Kia, Alireza M.; Weinreich, Wenke
Poster
2019Optik für Sende- und/oder Empfangs-Element, Kommunikationsmodul, Arrays aus Kommunikationsmodulen, System aus mehreren Kommunikationsmodulen und Verfahren zur Herstellung einer Optik
Kirrbach, René
Patent
2019Optische Charakterisierungsmethoden von siliziumbasierten MEMS mit verdeckten Strukturen
Stolz, Michael; Mrosk, A.; Kaiser, B.; Langa, S.; Ehrig, L.; Conrad, H.; Gaudet, M.; Schenk, H.
Konferenzbeitrag
2019Optische Mikrosysteme für verbesserte Bildgebung in der Biomedizin
Scholles, M.
Konferenzbeitrag
2019Platinum-Copper Defects in Silicon
Kolkovsky, V.; Kolkovsky, V.; Weber, J.
Zeitschriftenaufsatz
2019Principles and Challenges for Binary Oxide Based Ferroelectric Memory FeFET
Ali, T.; Polakowski, P.; Büttner, T.; Kämpfe, T.; Rudolph, M.; Pätzold, B.; Hoffmann, R.; Czernohorsky, M.; Kühnel, K.; Steinke, P.; Eng, L.M.; Seidel, K.
Konferenzbeitrag
2019Principles and Challenges for Binary Oxide Based Ferroelectric Memory FeFET
Ali, T.; Polakowski, P.; Büttner, T.; Kämpfe, T.; Rudolph, M.; Pätzold, B.; Hoffmann, R.; Czernohorsky, M.; Kühnel, K.; Steinke, P.; Eng, L.M.; Seidel, K.
Poster
2019Pyroelectric Energy Conversion in Doped Hafnium Oxide (HfO2) Thin Films on Area-Enhanced Substrates
Hanrahan, Brendan; Mart, Clemens; Kämpfe, Thomas; Czernohorsky, M.; Weinreich, Wenke; Smith, A.
Zeitschriftenaufsatz
2019Quasi-statischer MOEMS-Gitterscanner zum spektralen Durchstimmen eines MIR-Quantenkaskadenlasers
Merten, André; Schroedter, Richard; Dreyhaupt, André; Graßhoff, Thomas; Schwarzenberg, Markus; Hugger, Stefan; Schilling, Christian; Grahmann, Jan; Ostendorf, Ralf
Zeitschriftenaufsatz
2019Rasterscan mit ruckbegrenzten Trajektorien für quasi-statisch/resonante Mikroscanner
Schroedter, Richard; Schwarzenberg, Markus; Janschek, K.; Grahmann, Jan
Konferenzbeitrag
2019Reduced metal contamination from crucible and coating using a silicon nitride based diffusion barrier for the growth of cast quasi-single crystalline silicon ingots
Wolny, F.; Krause, A.; Müller, M.; Fischer, G.; Neuhaus, H.
Zeitschriftenaufsatz
2019Sensoranordnung und Verfahren zum Herstellen einer Sensoranordnung
Mart, Clemens; Polakowski, Patrick; Kämpfe, Thomas; Weinreich, Wenke
Patent
2019Separation of Individual Thermal Double-Donor Levels by Laplace Deep-Level Transient Spectroscopy
Gwozdz, K.; Kolkovsky, V.; Weber, J.
Zeitschriftenaufsatz
2019Silicone oil damping for quasi-static micro scanners with electrostatic vertical staggered comb drives
Schroedter, Richard; Grahmann, Jan; Janschek, Klaus
Zeitschriftenaufsatz
2019Small-signal modeling of mm-wave MOSFET up to 110 GHz in 22nm FDSOI technology
Le, Q.H.; Huynh, D.K.; Wang, D.; Kämpfe, T.; Rudolph, M.
Konferenzbeitrag
2019Solid-State LiDAR: Umgebungssensorik für sicheres autonomes Fahren
Amelung, J.; Galle, C.
Konferenzbeitrag
2019Spektralanalysesystem zum Aufnehmen eines Spektrums
Knobbe, Jens; Grüger, Heinrich
Patent
2019Spektralanalysesystem, mobiles Gerät mit einem Spektralanalysesystem, ein Verfahren zur Bestimmung einer Korrekturfunktion zur Abbildungskorrektur eines durch ein Spektralanalysesystem aufgenommenen Spektrums und Computerprogramm
Knobbe, Jens; Grüger, Heinrich
Patent
2019Structure and Thermoelectric Properties of CoSi-Based Film Composites
Kuznetsova, V.S.; Novikov, S.V.; Nichenametla, C.K.; Calvo, J.; Wagner-Reetz, M.
Zeitschriftenaufsatz
2019Studentische Beschäftigungsverhältnisse als Quelle des Active Sourcings? Eine Analyse am Beispiel des Fraunhofer-Instituts für Photonische Mikrosysteme IPMS
Wendenburg, Anja
: Haubold, Anne-Katrin (Gutachter); Richter, Thorsten S. (Gutachter)
Bachelor Thesis
2019Study of sub-volume activation in CoFeB/MgO memory devices near spin reorientation transition
Fidalgo, João; Lv, Hua; Silva, Ana V.; Leitão, Diana C.; Kämpfe, Thomas; Langer, Juergen; Wrona, Jerzy; Ocker, Berthold; Cardoso, Susana
Poster
2019Theory and Experiment of Antiferroelectric (AFE) Si-Doped Hafnium Oxide (HSO) Enhanced Floating-Gate Memory
Ali, T.; Polakowski, P.; Büttner, T.; Kämpfe, T.; Rudolph, M.; Pätzold, B.; Hoffmann, R.; Czernohorsky, M.; Kühnel, K.; Steinke, P.; Zimmermann, K.; Biedermann, K.; Eng, L.M.; Seidel, K.; Müller, J.
Zeitschriftenaufsatz
2019ToF-SIMS 3D Analysis of Thin Films Deposited in High Aspect Ratio Structures via Atomic Layer Deposition and Chemical Vapor Deposition
Kia, A.M.; Haufe, N.; Esmaeili, S.; Mart, C.; Utriainen, M.; Puurunen, R.L.; Weinreich, W.
Zeitschriftenaufsatz
2019Verfahren zum Herstellen eines mikroelektronischen Systems mit funktionalen Dünnschichten
Riedel, Stefan; Weinreich, Wenke
Patent
2019Wetting properties of LIPSS structured silicon surfaces
Varlamova, O.; Reif, J.; Stolz, M.; Borcia, R.; Borcia, I.D.; Bestehorn, M.
Zeitschriftenaufsatz