Fraunhofer-Gesellschaft

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Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2021240-GHz Reflectometer-Based Dielectric Sensor with Integrated Transducers in a 130-nm SiGe BiCMOS Technology
Wang, D.; Eissa, M.H.; Schmalz, K.; Kämpfe, T.; Kissinger, D.
Zeitschriftenaufsatz
2021A 61-GHz Rectifier Using Internal Voltage Cancellation and Body-Biasing Techniques in 22-nm FDSOI
Harutyunyan, A.; Landwehr, M.
Zeitschriftenaufsatz
2021A 61-GHz RFID frontend with SiGe transceiver MMIC and SIW coupling network
Funke, Dominic A.; Hansen, Steffen; Bredendiek, Christian; Grenter, Thorben; Bögel, Gerd vom; Harutyunyan, Armen; Fiedler, Raik; Heinig, Andreas; Pohl, Nils
Konferenzbeitrag
2021Aging in Ferroelectric Si-Doped Hafnium Oxide Thin Films
Mart, C.; Kohlenbach, N.-D.; Kühnel, K.; Eßlinger, S.; Czernohorsky, M.; Ali, T.; Weinreich, W.; Eng, L.M.
Zeitschriftenaufsatz
2021All-silicon ultrasonic recognition of the environment
Kaiser, Bert
Vortrag
2021Analog Spatial Light Modulators Based on Micromirror Arrays
Dauderstädt, U.; Dürr, P.; Gehner, A.; Wagner, M.; Schenk, H.
Zeitschriftenaufsatz
2021Challenges of monolithic MEMS-on-CMOS integration for spatial light modulators
Hohle, C.; Döring, S.; Friedrichs, M.; Gehner, A.; Rudloff, D.; Schulze, M.; Stübner, R.; Trenkler, D.
Konferenzbeitrag
2021Comparison of Analog and Noise Performance between Buried Channel versus Surface Devices in HKMG I/O Devices
Pirro, L.; Jayakumar, A.; Zimmerhackl, O.; Lipp, D.; Illgen, R.; Muehlhoff, A.; Pfuetzner, R.; Zaka, A.; Otto, M.; Hoentschel, J.; Raffel, Y.; Seidel, K.; Olivo, R.
Konferenzbeitrag
2021Coulomb-actuated microbeams revisited: Experimental and numerical modal decomposition of the saddle-node bifurcation
Melnikov, A.; Schenk, H.A.G.; Monsalve, J.M.; Wall, F.; Stolz, M.; Mrosk, A.; Langa, S.; Kaiser, B.
Zeitschriftenaufsatz
2021Doping concentration dependent piezoelectric behavior of Si:HfO2 thin-films
Kirbach, S.; Lederer, M.; Eßlinger, S.; Mart, C.; Czernohorsky, M.; Weinreich, W.; Wallmersperger, T.
Zeitschriftenaufsatz
2021Drahtloser Datenbus
Schneider, Tobias; Kirrbach, René; Faulwaßer, Michael; Noack, Alexander
Patent
2021Empirical Large-Signal Modeling of mm-Wave FDSOI CMOS Based on Angelov Model
Le, Q.H.; Huynh, D.K.; Lehmann, S.; Zhao, Z.; Kämpfe, T.; Rudolph, M.
Zeitschriftenaufsatz
2021Enhanced pyroelectric response at morphotropic and field-induced phase transitions in ferroelectric hafnium oxide thin films
Mart, C.; Kämpfe, T.; Kühnel, K.; Czernohorsky, M.; Kolodinski, S.; Wiatr, M.; Weinreich, W.; Eng, L.M.
Zeitschriftenaufsatz
2021Ferroelectric Field Effect Transistors as a Synapse for Neuromorphic Application
Lederer, M.; Kämpfe, T.; Ali, T.; Müller, F.; Olivo, R.; Hoffmann, R.; Laleni, N.; Seidel, K.
Zeitschriftenaufsatz
2021Ferroelektrischer Dünnschichttransistor und Verfahren zum Herstellen eines ferroelektrischen Dünnschichttransistors
Ali, Tarek Nadi Ismail; Polakowski, Patrick; Seidel, Konrad
Patent
2021A Fully Integrated Ferroelectric Thin-Film-Transistor - Influence of Device Scaling on Threshold Voltage Compensation in Displays
Lehninger, D.; Ellinger, M.; Ali, T.; Li, S.; Mertens, K.; Lederer, M.; Olivio, R.; Kampfe, T.; Hanisch, N.; Biedermann, K.; Rudolph, M.; Brackmann, V.; Sanctis, C.; Jank, M.; Seidel, K.
Zeitschriftenaufsatz
2021Impact of the Nonlinear Dielectric Hysteresis Properties of a Charge Trap Layer in a Novel Hybrid High-Speed and Low-Power Ferroelectric or Antiferroelectric HSO/HZO Boosted Charge Trap Memory
Ali, T.; Mertens, K.; Olivo, R.; Rudolph, M.; Oehler, S.; Kuhnel, K.; Lehninger, D.; Muller, F.; Hoffmann, R.; Schramm, P.; Biedermann, K.; Metzger, J.; Binder, R.; Czernohorsky, M.; Kampfe, T.; Muller, J.; Seidel, K.; Houdt, J. Van; Eng, L.M.
Zeitschriftenaufsatz
2021Impact of the SiO2 interface layer on the crystallographic texture of ferroelectric hafnium oxide
Lederer, M.; Reck, A.; Mertens, K.; Olivo, R.; Bagul, P.; Kia, A.; Volkmann, B.; Kämpfe, T.; Seidel, K.; Eng, L.M.
Zeitschriftenaufsatz
2021Kinetics of the Light and Elevated Temperature Induced Degradation and Regeneration of Quasi-Monocrystalline Silicon Solar Cells
Wehmeier, N.; Fischer, G.; Herlufsen, S.; Wolny, F.; Wagner, M.; Bothe, K.; Müller, M.
Zeitschriftenaufsatz
2021MEMS component with in-plane movable element and method for operating same
Kaiser, Bert
Patent
2021MEMS component, assembly comprising the MEMS component and method for operating the MEMS component
Kaiser, Bert; Monsalve Guaracao, Jorge Mario; Conrad, Holger
Patent
2021MEMS-Aktuator und MEMS-Aktuator-Array mit einer Mehrzahl von MEMS-Aktuatoren
Dürr, Peter
Patent
2021MEMS-Aktuator-Element und MEMS-Aktuator-Array mit einer Mehrzahl von MEMS-Aktuator-Elementen
Dürr, Peter; Neudert, Andreas; Felsberg, Linda
Patent
2021Method for controlling a driver circuit, driver circuit, system comprising a driver circuit and method for manufacturing an integrated circuit
Fiedler, Raik; Pietzsch, Marcus
Patent
2021Multi‐Level Switching and Reversible Current Driven Domain‐Wall Motion in Single CoFeB/MgO/CoFeB‐Based Perpendicular Magnetic Tunnel Junctions
Lv, H.; Fidalgo, J.; Silva, A.V.; Leitao, D.C.; Kämpfe, T.; Langer, J.; Wrona, J.; Ocker, B.; Freitas, P.P.; Cardoso, S.
Zeitschriftenaufsatz
2021On the Origin of Wake-Up and Antiferroelectric-Like Behavior in Ferroelectric Hafnium Oxide
Lederer, M.; Olivo, R.; Lehninger, D.; Abdulazhanov, S.; Kämpfe, T.; Kirbach, S.; Mart, C.; Seidel, K.; Eng, L.M.
Zeitschriftenaufsatz
2021Optical microsystems for advanced imaging in biomedicine
Scholles, Michael
Abstract
2021Prozesskette zur Faltmontage für miniaturisierte komplexe Optiksysteme
Grüger, H.; Sdrenka, S.; Stein, K.; Sabiha, M.; Schulz, M.; Ziegmann, G.
Vortrag
2021Sensor mit einer Festkörper-Schichtstruktur und Verfahren zur Herstellung eines Sensors
Kurth, Eberhard; Kunath, Christian
Patent
2021SmartSpectrometer - Embedded Optical Spectroscopy for Applications in Agriculture and Industry
Krause, Julius; Grüger, Heinrich; Gebauer, Lucie; Zheng, Xiaorong; Knobbe, Jens; Pügner, Tino; Kicherer, Anna; Gruna, Robin; Längle, Thomas; Beyerer, Jürgen
Zeitschriftenaufsatz
2021Thermo Optical Phase Shifter with Low Thermal Crosstalk for SOI Strip Waveguide
Sabouri, S.; Mendoza Velasco, L.A.; Catuneanu, M.; Namdari, M.; Jamshidi, K.
Zeitschriftenaufsatz
2021Validation of Computational Procedures for the Progressive Collapse Analysis of Reinforced Concrete Structures
Dmitriev, A.; Lalin, V.; Melnikov, A.
Konferenzbeitrag
2021WS2 and MoS2 counter electrode materials for dye‐sensitized solar cells
Rashidi, S.; Rashidi, S.; Heydari, R.K.; Esmaeili, S.; Tran, N.; Thangi, D.; Wei, W.
Zeitschriftenaufsatz
2020240-GHz reflectometer with integrated transducer for dielectric spectroscopy in a 130-nm SiGe BiCMOS technology
Wang, D.; Eissa, M.H.; Schmalz, K.; Kämpfe, T.; Kissinger, D.
Konferenzbeitrag
2020480-GHz Sensor With Subharmonic Mixer and Integrated Transducer in a 130-nm SiGe BiCMOS Technology
Wang, D.; Eissa, M.H.; Schmalz, K.; Kampfe, T.; Kissinger, D.
Zeitschriftenaufsatz
20205 mm Range 61 GHz System on Chip EPC Gen2 RFID tag in 22nm FD-SOI Technology
Harutyunyan, A.; Heinig, A.; Fiedler, R.; Landwehr, M.; Hildebrandt, R.; Holland, H.-J.
Konferenzbeitrag
2020Acoustic bending converter system and acoustic device
Kaiser, Bert
Patent
2020Analysis of Hot-Carrier Degradation in 22nm FDSOI Transistors Using RF Small-Signal Characteristics
Huynh, D.K.; Le, Q.H.; Duhan, P.; Wang, D.; Kampfe, T.; Rudolph, M.
Konferenzbeitrag
2020Analysis of the composition of tantalum nitride in CMOS metallization trenches using parallel angle‐resolved XPS
Wehring, B.; Gerlich, L.; Kia, A.M.; Wislicenus, M.; Uhlig, B.
Zeitschriftenaufsatz
2020Analysis of the Reliability of Ferroelectric Field Effect Transistors in Combination with Crossbar Circuits for Neuromorphic Computing
Hoffmann, Tudor
: Kämpfe, Thomas (Betreuer); Messaris, Ioannis (Betreuer)
Diplomarbeit
2020Antiferroelectric Si:HfO2 for High Energy Storage using 3D MIM Capacitors
Viegas, A.; Mart, C.; Czernohorsky, M.
Konferenzbeitrag
2020Automatisierte Berechnung und Visualisierung von Komorbiditätsindizes für den Tumorboard-Entscheid
Wald, T.; Birnbaum, Klemens; Wiegand, S.; Dietz, A.; Zebralla, V.; Wichmann, G.
Zeitschriftenaufsatz
2020Automatisierte Berechnung und Visualisierung von Komorbiditätsindizes für den Tumorboard-Entscheid
Wald, T.; Birnbaum, K.; Wiegand, S.; Dietz, A.; Zebralla, V.; Wichmann, G.
Zeitschriftenaufsatz
2020Back-End-of-Line Compatible Low-Temperature Furnace Anneal for Ferroelectric Hafnium Zirconium Oxide Formation
Lehninger, D.; Olivo, R.; Ali, T.; Lederer, M.; Kämpfe, T.; Mart, C.; Biedermann, K.; Kühnel, K.; Roy, L.; Kalkani, M.; Seidel, K.
Zeitschriftenaufsatz
2020Bauelement und Verfahren zum Herstellen eines Bauelements
Kirbach, Sven; Weinreich, Wenke; Mart, Clemens; Zybell, Sabine; Haufe, Nora
Patent
2020Bending transducer as an actuator, bending transducer as a sensor, bending transducer system
Schenk, Hermann; Kaiser, Bert; Ehrig, Lutz
Patent
2020BEoL Reliability, XPS and REELS Study on low-k Dielectrics to understand Breakdown Mechanisms
Wehring, Bettina; Hoffmann, R.; Gerlich, Lukas; Czernohorsky, Malte; Uhlig, B.; Seidel, R.; Barchewitz, T.; Schlaphof, F.; Meinshausen, L.; Leyens, C.
Konferenzbeitrag
2020Chapter 49 - Micro mirrors
Schenk, Harald; Schulze, Matthias
Aufsatz in Buch
2020Charge Pumping and Flicker Noise-based Defect Characterization in Ferroelectric FETs
Raffel, Y.; Lederer, M.; Olivo, R.; Müller, F.; Hoffmann, R.; Ali, T.; Kämpfe, T.; Seidel, K.; Heitmann, J.
Konferenzbeitrag
2020Development and Characterization of Transition Metal Silicides for Metallization Application
Hamtaei, Sarallah
: Sorgenfrei, Tina; Fiederle, Michael
Master Thesis
2020Development of Rutile Titanium Oxide Thin Films as Battery Material Component Using Atomic Layer Deposition
Kia, A.M.; Bönhardt, S.; Zybell, S.; Kühnel, K.; Haufe, N.; Weinreich, W.
Zeitschriftenaufsatz
2020Doping Effects in CMOS‐compatible CoSi Thin Films for Thermoelectric and Sensor Applications
Nichenametla, Charan Krishna; Calvo, Jesús; Riedel, Stefan; Gerlich, Lukas; Hindenberg, Meike; Novikov, Sergej; Alexander Burkov; Kozelj, Primoz; Cardoso-Gil, Raul; Wagner-Reetz, Maik
Zeitschriftenaufsatz
2020Effect of Substrate Implant Tuning on the Performance of MFIS Silicon Doped Hafnium Oxide (HSO) FeFET Memory
Ali, T.; Kühnel, K.; Mertens, K.; Czernohorsky, M.; Rudolph, M.; Duhan, P.; Lehninger, D.; Hoffmann, R.; Steinke, P.; Müller, J.; Houdt, J. van; Seidel, K.; Eng, L.M.
Konferenzbeitrag
2020Efficient FeFET crossbar accelerator for binary neural networks
Soliman, T.; Olivo, R.; Kirchner, T.; Parra, C. de la; Lederer, M.; Kämpfe, T.; Guntoro, A.; Wehn, N.
Konferenzbeitrag
2020The electrocaloric effect in doped hafnium oxide: Comparison of direct and indirect measurements
Mart, C.; Kämpfe, T.; Czernohorsky, M.; Eßlinger, S.; Kolodinski, S.; Wiatr, M.; Weinreich, W.; Eng, L.M.
Zeitschriftenaufsatz
2020Energy harvesting in the back-end of line with CMOS compatible ferroelectric hafnium oxide
Mart, C.; Abdulazhanov, S.; Czernohorsky, M.; Kämpfe, T.; Lehninger, D.; Falidas, K.; Eßlinger, S.; Kühnel, K.; Oehler, S.; Rudolph, M.; Wiatr, M.; Kolodinski, S.; Seidel, R.; Weinreich, W.; Eng, L.M.
Konferenzbeitrag
2020Entwicklung eines analogen 100MBIT / s-Transceiver-Frontends für die LI-FI-Kommunikation mit harten Echtzeitanforderungen
Jakob, Benjamin
: Kirrbach, René (Betreuer); Fischer, Wolf-Joachim (Betreuer)
Diplomarbeit
2020Entwicklung eines Aufbaus für die teilautomatisierte Montage von Mikrospektrometern
Kruse, Jens
: Seelig, D. (Betreuer); Knobbe, J. (Betreuer)
Diplomarbeit
2020Entwicklung eines integrierten, digitalen Empfängers für echtzeitfähige, leitungsungebundene, optische Übertragungen
Steinbach, Hagen
: Fitz, R. (Betreuer); Ebberg, A. (Betreuer); Faulwaßer, M. (Betreuer)
Master Thesis
2020Entwurf, Konstruktion und Vorbereitung des Aufbaus eines hochminiaturisierten Gitterspektrometers für den Nahinfrarotbereich
Starcke, Antonia Jasmin
: Beyerlein, Mathias; Grüger, Heinrich
Bachelor Thesis
2020FeFET: A versatile CMOS compatible device with game-changing potential
Beyer, S.; Dünkel, S.; Trentzsch, M.; Müller, J.; Hellmich, A.; Utess, D.; Paul, J.; Kleimaier, D.; Pellerin, J.; Müller, S.; Ocker, J.; Benoist, A.; Zhou, H.; Mennenga, M.; Schuster, M.; Tassan, F.; Noack, M.; Pourkeramati, A.; Müller, F.; Lederer, M.; Ali, T.; Hoffmann, R.; Kämpfe, T.; Seidel, K.; Mulaosmanovic, H.; Breyer, E.T.; Mikolajick, T.; Slesazeck, S.
Konferenzbeitrag
2020First time of nanoscopic electrostatic drives pushing for ultrasonic transmission for gesture recognition
Monsalve Guaracao, J.M.; Kircher, M.; Wall, F.; Krenkel, M.; Kaiser, B.; Langa, S.; Schenk, H.
Konferenzbeitrag
2020Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme. Jahresbericht 2019
 
Jahresbericht
2020Furnace annealed HfO2-Films for the Integration of Ferroelectric Functionalities into the BEoL
Lehninger, D.; Ali, T.; Olivo, R.; Lederer, M.; Kämpfe, T.; Mertens, K.; Seidel, K.
Konferenzbeitrag
2020Gekrümmte Lichtleiterstruktur, Verfahren zum Herstellen derselben und optisches Überwachungssystem
Schneider, Tobias; Kirrbach, René
Patent
2020Gleichrichter für Millimeter-Wellen-Wechselspannungssignale
Harutyunyan, Armen
Patent
2020Heavy Ion Irradiation Effects on Structural and Ferroelectric Properties of HfO2 Films
Kämpfe, T.; Vogel, T.; Olivo, R.; Lederer, M.; Kaiser, N.; Petzold, S.; Ali, T.; Lehninger, D.; Trautmann, C.; Alff, L.; Seidel, K.
Konferenzbeitrag
2020HfO2-based ferroelectric FETs: Performance of single devices and mini-arrays
Mulaosmanovic, H.; Müller, F.; Breyer, E.T.; Dünkel, S.; Trentzsch, M.; Beyer, S.; Mikolajick, T.; Slesazeck, S.
Konferenzbeitrag
2020Impact of Channel Implant Variation on RTN and Flicker Noise
Raffel, Y.; Seidel, K.; Pirro, L.; Lehmann, S.; Hoffmann, R.; Olivo, R.; Kämpfe, T.; Heitmann, J.
Konferenzbeitrag
2020Impact of Ferroelectric Wakeup on Reliability of Laminate based Si-doped Hafnium Oxide (HSO) FeFET Memory Cells
Ali, T.; Kühnel, K.; Czernohorsky, M.; Rudolph, M.; Pätzold, B.; Olivo, R.; Lehninger, D.; Mertens, K.; Müller, F.; Lederer, M.; Hoffmann, R.; Mart, C.; Kalkani, M.N.; Steinke, P.; Kämpfe, T.; Müller, J.; Houdt, J. van; Seidel, K.; Eng, L.M.
Konferenzbeitrag
2020Implementierung und Erprobung einer portablen Sensorplattform auf Basis von RISC-V
Enseleit, Stephan
: Fengler Wolfgang (Betreuer); Weder, Andreas (Betreuer)
Bachelor Thesis
2020Innovative Concept of Tunable ECDLs Based on MEMS in the NIR and MIR Spectral Regime
Hoppe, M.; Rohling, H.; Schmidtmann, S.; Tatenguem, H.; Grahmann, J.; Milde, T.; Schanze, T.; Sacher, J.R.
Konferenzbeitrag
2020Integration of Hafnium Oxide on Epitaxial SiGe for p-type Ferroelectric FET Application
Lederer, M.; Müller, F.; Kühnel, K.; Olivo, R.; Mertens, K.; Trentzsch, M.; Dünkel, S.; Müller, J.; Beyer, S.; Seidel, K.; Kämpfe, T.; Eng, L.M.
Zeitschriftenaufsatz
2020Interplay Between Switching and Retention in HfO2-Based Ferroelectric FETs
Mulaosmanovic, H.; Müller, F.; Lederer, M.; Ali, T.; Hoffmann, R.; Seidel, K.; Zhou, H.; Ocker, J.; Mueller, S.; Dunkel, S.; Kleimaier, D.; Muller, J.; Trentzsch, M.; Beyer, S.; Breyer, E.T.; Mikolajick, T.; Slesazeck, S.
Zeitschriftenaufsatz
2020Kundenakquise öffentlicher Forschungseinrichtungen in Deutschland. Eine explorative Fallstudie zum Einfluss von Kommunikationskanälen bei der Vermarktung von F&E Dienstleistungen
Grebe, Steffen
: Schefczyk, Michael (Betreuer); Ernst, Cornelia (Betreuer); Titze, Stephan (Betreuer)
Diplomarbeit
2020Mechanische gekoppelte mikroelektromechanische Ultraschallwandler
Krenkel, Marcel
: Richter, A. (Betreuer); Gerlach, G. (Betreuer)
Dissertation
2020Mikromechanische Struktur, mikromechanisches System und Verfahren zum Bereitstellen einer mikromechanischen Struktur
Drabe, Christian; Dreyhaupt, André
Patent
2020Minimization of nonlinearities in nano electrostatic drive actuators using validated coupled-field simulation
Melnikov, Anton; Schenk, Hermann; Wall, Franziska; Spitz, B.; Ehrig, L.; Langa, S.; Stolz, M.; Kaiser, B.; Conrad, H.; Schenk, H.
Konferenzbeitrag
2020Modellierung eines Li-Fi Transceivers zur optischen Freiraumdatenübertragung
Rödel, Jan
: Kirrbach, Rene (Betreuer); Engelbrecht, Rainer (Betreuer)
Bachelor Thesis
2020Modelling of three dimensional deep trench capacitors and identification of parasitic elements
Agarwal, Rishabh
: Czernohorsky, Malte (Betreuer); Lakner, Hubert (Betreuer); Bartha, J.W. (Betreuer)
Master Thesis
2020Monolitic Hybrid Transmitter-Receiver Lens for Rotary On-Axis Communications
Kirrbach, R.; Faulwaßer, M.; Schneider, T.; Meißner, P.; Noack, A.; Deicke, F.
Zeitschriftenaufsatz
2020Novel CMOS-integrated 512x320 tip-tilt micro mirror array and related technology platform
Gehner, Andreas; Döring, S.; Rudloff, D.; Kunze, D.; Dürr, P.; Francés, S.; Hänsel, L.; Torlee, H.; Elgner, A.; Eckert, M.; Friedrichs, M.; Heber, J.; Schmidt, J.; Pufe, W.; Hohle, C.; Schulze, M.; Wagner, M.
Konferenzbeitrag
2020Obtaining Patient-Reported Outcomes Electronically with "OncoFunction" in Head and Neck Cancer Patients During Aftercare
Zebralla, Veit; Müller, Juliane; Wald, Theresa; Boehm, Andreas; Wichmann, Gunnar; Berger, Thomas; Birnbaum, Klemens; Heuermann, Katherina; Oeltze-Jafra, Steffen; Neumuth, Thomas; Singer, Susanne; Büttner, Matthias; Dietz, Andreas; Wiegand, Susanne
Zeitschriftenaufsatz
2020Passiv arbeitender Transponder mit sensitiver Funktionalität
Holland, Hans-Jürgen
Patent
2020Phase formation of a biocompatible Ti-based alloy under kinetic constraints studied via in-situ high-energy X-ray diffraction
Kosiba, K.; Rothkirch, A.; Han, J.; Deng, L.; Escher, B.; Wang, G.; Kühn, U.; Bednarcik, J.
Zeitschriftenaufsatz
2020Piezoelectric Response of Polycrystalline Silicon-Doped Hafnium Oxide Thin Films Determined by Rapid Temperature Cycles
Mart, Clemens; Kämpfe, Thomas; Hoffmann, Raik; Eßlinger, Sophia; Kirbach, Sven; Kühnel, Kati; Czernohorsky, Malte; Eng, Lukas M.; Weinreich, Wenke
Zeitschriftenaufsatz
2020Quantifying non-centrosymmetric orthorhombic phase fraction in 10 nm ferroelectric Hf0.5Zr0.5O2 films
Mukundan, V.; Consiglio, S.; Triyoso, D.H.; Tapily, K.; Schujman, S.; Mart, C.; Kämpfe, T.; Weinreich, W.; Jordan-Sweet, J.; Clark, R.D.; Leusink, G.J.; Diebold, A.C.
Zeitschriftenaufsatz
2020Reconfigurable Acoustic Metagrating for High-Efficiency Anomalous Reflection
Chiang, Y.K.; Oberst, S.; Melnikov, A.; Quan, L.; Marburg, S.; Alù, A.; Powell, D.A.
Zeitschriftenaufsatz
2020Rührer zur drahtlosen und/oder batterielosen Messung von Prozessparametern
Weder, Andreas; Heinig, Andreas
Patent
2020Schöne neue Welt?
Ruffert, Christine
Aufsatz in Buch
2020Sem image denoising and contour image estimation using deep learning
Chaudhary, N.; Savari, S.A.; Brackmann, V.; Friedrich, M.
Konferenzbeitrag
2020Silicon-based microfluid control and switching valves using lateral electrostatic bending actuators
Uhlig, Sebastian; Gaudet, Matthieu; Langa, Sergiu; Ruffert, Christine; Conrad, Holger; Schenk, Harald
Bericht
2020Spannungskontrollierbarer Kondensator mit ferroelektrischer Schicht und Verfahren zum Herstellen des spannungskontrollierbaren Kondensators mit ferroelektrischer Schicht
Kämpfe, Thomas; Polakowski, Patrick; Seidel, Konrad
Patent
2020Spannungskontrollierbarer Kondensator und Verfahren zum Herstellen eines spannungskontrollierbaren Kondensators
Kämpfe, Thomas; Polakowski, Patrick; Seidel, Konrad
Patent
2020Structural and Electrical Comparison of Si and Zr Doped Hafnium Oxide Thin Films and Integrated FeFETs Utilizing Transmission Kikuchi Diffraction
Lederer, M.; Kämpfe, T.; Vogel, N.; Utess, D.; Volkmann, B.; Ali, T.; Olivo, R.; Müller, J.; Beyer, S.; Trentzsch, M.; Seidel, K.; Eng, L.M.
Zeitschriftenaufsatz
2020A Study on the Temperature-Dependent Operation of Fluorite-Structure-Based Ferroelectric HfO2 Memory FeFET: Pyroelectricity and Reliability
Ali, T.; Kühnel, K.; Czernohorsky, M.; Mart, C.; Rudolph, M.; Pätzold, B.; Lehninger, D.; Olivo, R.; Lederer, M.; Müller, F.; Hoffmann, R.; Metzger, J.; Binder, R.; Steinke, P.; Kämpfe, T.; Müller, J.; Seidel, K.; Eng, L.M.
Zeitschriftenaufsatz
2020A Study on the Temperature-Dependent Operation of Fluorite-Structure-Based Ferroelectric HfO2 Memory FeFET: A Temperature-Modulated Operation
Ali, T.; Kühnel, K.; Czernohorsky, M.; Mart, C.; Rudolph, M.; Pätzold, B.; Lederer, M.; Olivo, R.; Lehninger, D.; Müller, F.; Hoffmann, R.; Metzger, J.; Binder, R.; Steinke, P.; Kämpfe, T.; Müller, J.; Seidel, K.; Eng, L.M.
Zeitschriftenaufsatz
2020Surface Dependent Performance of Ultrathin TiN Films as an Electrically Conducting Li Diffusion Barrier for Li-Ion Based Devices
Speulmanns, Jan; Kia, Alireza M.; Kühnel, Kati; Bönhardt, Sascha; Weinreich, Wenke
Zeitschriftenaufsatz
2020System integration of hybrid large aperture micro scanner array for fast scanning LiDAR sensors
Sandner, Thilo; Graßhoff, Thomas; Owe, Wolf-Dietrich; Herrmann, A.; Wildenhain, M.; Schwarzenberg, M.
Konferenzbeitrag
2020Tunable non-volatile memory by conductive ferroelectric domain walls in lithium niobate thin films
Kämpfe, T.; Wang, B.; Haußmann, A.; Chen, L.-Q.; Eng, L.M.
Zeitschriftenaufsatz
2020Ultra-Low PoweR TechnologIes and MEmory architectures for IoT
Seidel, Konrad; Eichler, Uwe
Bericht
2020Untersuchung des Verhaltens von MEMS-Lautsprechern auf mechanischen Schockbelastung
Kulas, Michalina
: Schenk, Harald (Betreuer); Kahmen, Gerhard (Betreuer)
Bachelor Thesis
2020Verfahren zur Authentifizierung eines Nutzers und Authentifizierungssystem
Noack, Alexander
Patent
2020Verpackung mit Transponder und Kryptomodul
Holland, Hans-Jürgen
Patent
2020Vibration analysis of micro mirrors for LIDAR using on-chip piezo-resistive sensor
Grahmann, Jan; Schroedter, R.; Kiethe, Oliver; Todt, Ulrich
Konferenzbeitrag
2020Vorrichtung und Netzwerk zur drahtlosen, optischen Kommunikation
Kirrbach, René; Schneider, Tobias; Noack, Alexander; Faulwaßer, Michael; Deicke, Frank
Patent
2020W-Band Noise Characterization with Back-Gate Effects for Advanced 22nm FDSOI mm-Wave MOSFETs
Le, Q.H.; Huynh, D.K.; Wang, D.; Zhao, Z.; Lehmann, S.; Kämpfe, T.; Rudolph, M.
Konferenzbeitrag
2020Wafer-level vacuum-packaged translatory MEMS actuator with large stroke for NIR-FT spectrometers
Sandner, Thilo; Gaumont, Eric; Graßhoff, Thomas; Rieck, Andreas; Seifert, T.; Auböck, Gerald; Grahmann, Jan
Zeitschriftenaufsatz
2020Whether Ge-Rich ZrO2 and Ge-Rich HfO2 Materials Have Similar Reaction on Annealing Treatment?
Khomenkova, L.; Lehninger, D.; Agocs, E.; Petrik, P.; Portier, X.; Korsunska, N.; Melnichuk, O.; Gourbilleau, F.; Heitmann, J.
Konferenzbeitrag
2020Wide and fast mode-hop free MEMS tunable ECDL concept and realization in the NIR and MIR spectral regime
Hoppe, M.; Rohling, H.; Schmidtmann, S.; Honsberg, M.; Tatenguem, H.; Grahmann, J.; Milde, T.; Schanze, T.; Sacher, J.R.
Konferenzbeitrag
2019240-GHz Four-Channel Power-Tuning Heterodyne Sensing Readout System with Reflection and Transmission Measurements in a 130-nm SiGe BiCMOS Technology
Wang, D.; Eissa, M.H.; Schmalz, K.; Yun, J.; Malignaggi, A.; Borngräber, J.; Kucharski, M.; Kämpfe, T.; Seidel, K.; Ng, H.J.; Kissinger, D.
Zeitschriftenaufsatz
2019Acoustic Validation of Electrostatic All-Silicon MEMS-Speakers
Ehrig, Lutz; Kaiser, Bert; Schenk, Hermann A.G.; Stolz, Michael; Langa, Sergiu; Conrad, Holger; Schenk, Harald; Männchen, Andreas; Brocks, Tobias
Konferenzbeitrag
2019Advances in MOEMS-based external cavity QCLs
Flores, Y.V.; Haertelt, M.; Hugger, S.; Butschek, L.; Schilling, C.; Merten, A.; Schwarzenberg, M.; Dreyhaupt, A.; Grahmann, J.; Rattunde, M.; Ostendorf, R.
Konferenzbeitrag
2019Advances of MOEMS-based external cavity QCLs
Härtelt, Marko; Hugger, Stefan; Butschek, Lorenz; Schilling, Christian; Merten, André; Schwarzenberg, Markus; Dreyhaupt, André; Grahmann, Jan; Rattunde, Marcel; Ostendorf, Ralf
Konferenzbeitrag
2019Analysis of CMOS Metallization Trenches using Angle-Resolved XPS
Wehring, Bettina; Gerlich, Lukas; Wislicenus, Marcus
Poster
2019The annealing effect on memory state stability and interlayer coupling in perpendicular magnetic tunnel junctions with ultrathin MgO barrier
Lv, Hua; Fidalgo, João; Leitão, Diana C.; Silva, Ana V.; Kämpfe, Thomas; Riedel, Stefan; Langer, Juergen; Wrona, Jerzy; Ocker, Berthold; Freitas, Paolo P.; Cardoso, Susana
Zeitschriftenaufsatz
2019Antiferroelektrische, eingebettete Dünnschichtkondensatoren als Energiespeicher für autarke Sensorelemente
Czernohorsky, Malte; Weder, Andreas; Mart, Clemens; Falidas, K.; Kühnel, K.; Viegas, A.E.; Holland, H.-J.; Weinreich, W.
Konferenzbeitrag
2019Assessment of a thick-oxide transistor from the 22FDX® platform for 5G NR sub-6 GHz FEMs
Le, Q.H.; Huynh, D.K.; Wang, D.; Kampfe, T.; Zhao, Z.; Lehmann, S.
Konferenzbeitrag
2019Assessment of conduction mechanisms through MgO ultrathin barriers in CoFeB/MgO/CoFeB perpendicular magnetic tunnel junctions
Lv, Hua; Fidalgo, João; Silva, Ana V.; Leitão, Diana C.; Kämpfe, Thomas; Riedel, Stefan; Langer, Juergen; Wrona, Jerzy; Ocker, Berthold; Freitas, Paolo P.; Cardoso, Susana
Zeitschriftenaufsatz
2019Audio-transducer for in-ear-applications based on CMOS-compatible electrostatic actuators
Spitz, B.; Wall, F.; Schenk, H.A.G.; Melnikov, A.; Ehrig, L.; Langa, S.; Stolz, M.; Kaiser, B.; Conrad, H.; Schenk, H.
Konferenzbeitrag
2019Audio-Transducer für In-Ear Anwendungen auf der Basis CMOS-kompatibler, elektrostatischer Biegeaktoren
Spitz, Barbara; Wall, Franziska; Schenk, Hermann; Melnikov, Anton; Ehrig, Lutz; Langa, Sergiu; Stolz, Michael; Kaiser, Bert; Conrad, Holger; Schenk, Harald
Konferenzbeitrag
2019Ein Beitrag zum Entwurf vibrationsbelasteter Microscanner
Kiethe, Oliver
: Janschek, Klaus; Schroedter, Richard (Betreuer); Todt, Ulrich (Betreuer)
Diplomarbeit
2019Characterisation of ferroelectric thin films with scanning probe microscope methods
Norouzi Kalkani, Mahsa
: Kämpfe, Thomas (Betreuer); Ecke, Ramona (Betreuer); Schulz, Stefan E. (Gutachter)
Master Thesis
2019CMOS-compatible transition metal disilicide for integrated thermoelectric applications
Nichenametla, C.K.; Calvo, J.; Dhavamani, A.; Drescher, M.; Göhler, T.; Wagner-Reetz, M.
Zeitschriftenaufsatz
2019CMUT with mechanically coupled plate actuators - Linearized electrostatic modeling
Krenkel, Marcel; Koch, Sandro; Kupnik, M.
Konferenzbeitrag
2019CMUT with mechanically coupled plate actuators for low frequencies
Krenkel, Marcel; Stolz, Michael; Koch, Sandro G.; Kupnik, Mario
Zeitschriftenaufsatz
2019Co-MOCVD processed seed layer for through silicon via copper metallization
Esmaeili, S.; Lilienthal, K.; Nagy, N.; Gerlich, L.; Krause, R.; Uhlig, B.
Zeitschriftenaufsatz
2019Concept and proof for an all-silicon MEMS micro speaker utilizing air chambers
Kaisers, B.; Langa, S.; Ehrig, L.; Stolz, M.; Schenk, H.; Conrad, H.; Schenk, H.; Schimmanz, K.; Schuftenhauer, D.
Zeitschriftenaufsatz
2019Construction and Characterization of External Cavity Diode Lasers Based on a Microelectromechanical System Device
Hoppe, M.; Jiménez, A.; Rohling, H.; Schmidtmann, S.; Grahmann, J.; Tatenguem, H.; Milde, T.; Schanze, T.; Sacher, J.R.
Zeitschriftenaufsatz
2019Defects in oxidized p-type Si wafers observed by surface photovoltage spectroscopy
Kolkovsky, Vladimir
Zeitschriftenaufsatz
2019Design and fabrication of liquid crystal microring resonator-based tunable optical add-drop filters
Costache, Florenta; Hartwig, H.; Martin, A.; Blasl, M.; Rieck, A.; Namdari, M.
Konferenzbeitrag
2019Development of an illumination module for stroboscopic phase-shift interferometry on MEMS devices
Medeiros Ventura, Luiz Guilherme de; Wolschke, Steffen; Skupsch, Christoph; Berndt, D.
Konferenzbeitrag
2019Device and method for generating a key
Blasl, Martin; Costache, Florenta
Patent
2019Doping hafnium oxide by in-situ precursor mixing
Weinreich, Wenke; Mart, Clemens; Kühnel, Kati; Kämpfe, Thomas; Czernohorsky, Malte
Vortrag
2019Electrical and structural properties of direct current magnetron sputtered amorphous TiAl thin films
Kolkovsky, V.; Schmidt, Jan-Uwe; Döring, S.
Zeitschriftenaufsatz
2019Electrocaloric temperature change in ferroelectric Si-doped hafnium oxide (HfO2) thin films
Mart, C.; Kämpfe, T.; Pätzold, B.; Rudolph, M.; Czernohorsky, M.; Müller, J.; Weinreich, W.
Vortrag
2019Electrocaloric temperature change in ferroelectric Si-doped hafnium oxide (HfO2) thin films
Mart, Clemens; Kämpfe, Thomas; Müller, Johannes; Pätzold, Björn; Rudolph, Matthias; Czernohorsky, Malte; Weinreich, Wenke
Vortrag
2019Electrostatic All-Silicon MEMS Speakers for In-Ear Audio Applications - Acoustic Measurements and Modelling Approach
Ehrig, Lutz; Wall, Franziska; Schenk, Hermann; Langa, Sergiu; Melnikov, Anton; Stolz, Michael; Kaiser, Bert; Conrad, Holger; Schenk, Harald
Konferenzbeitrag
2019Entwurf eines analogen Hochgeschwindigkeits-Frontends für die optische drahtlose Kommunikation
Spundflasche, Martin
: Gärtner, Uwe (Prüfer); Noack, Alexander (Gutachter); Kirrbach, René (Gutachter)
Bachelor Thesis
2019Epitaxial n++-InGaAs ultra-shallow junctions for highly scaled n-MOS devices
Tejedor, P.; Drescher, M.; Vázquez, L.; Wilde, L.
Zeitschriftenaufsatz
2019Ferroelectric and pyroelectric properties of polycrystalline La-doped HfO2 thin films
Mart, Clemens; Kühnel, Kati; Kämpfe, Thomas; Zybell, Sabine; Weinreich, Wenke
Zeitschriftenaufsatz
2019Formation of highly conformal spinel lithium titanate thin films based on a novel three-step atomic layer deposition process
Bönhardt, S.; Kühnel, K.; Kia, A.M.; Weinreich, W.
Zeitschriftenaufsatz
2019Fraunhofer Institute for Photonic Microsystems. Annual Report 2018
 
Jahresbericht
2019Functional carbon nanotubes for MEMS applications: Miniaturized strain sensor and black coating for infrared devices
Böttger, S.; Bonitz, J.; Al-Falahi, F.; Schulz, S.E.; Hermann, S.
Konferenzbeitrag
2019Gate Stack Optimization Toward Disturb-Free Operation of Ferroelectric HSO based FeFET for NAND Applications
Seidel, K.; Ali, T.; Hoffmann, R.; Kühnel, K.; Czernohorsky, M.; Rudolph, M.; Pätzold, B.; Steinke, P.; Zimmermann, K.; Biedermann, K.; Houdt, J. van
Konferenzbeitrag
2019Glow discharge optical emission spectrometry for quantitative depth profiling of CIGS thin-films
Kodalle, T.; Greiner, D.; Brackmann, V.; Prietzel, K.; Scheu, A.; Bertram, T.; Reyes-Figueroa, P.; Unold, T.; Abou-Ras, D.; Schlatmann, R.; Kaufmann, C.A.; Hoffmann, V.
Zeitschriftenaufsatz
2019High-density energy storage in Si-doped hafnium oxide thin films on area-enhanced substrates
Kühnel, Kati; Czernohorsky, M.; Riedel, Steffen; Mart, Clemens; Weinreich, Wenke
Zeitschriftenaufsatz
2019Hybrid assembled MEMS scanner array with large aperture for fast scanning LIDAR systems
Sandner, Thilo; Grasshoff, Thomas; Wildenhain, Michael; Schwarzenberg, M.
Zeitschriftenaufsatz
2019Impedanzanpassungsvorrichtung, Wandlervorrichtung und Verfahren zum Herstellen einer Impedanzanpassungsvorrichtiung
Schweiger, Severin; Koch, Sandro; Grafe, Mario; Lange, Nicolas; Amelung, Jörg
Patent
2019Influence of the dose assignment and fracturing type on patterns exposed by a variable shaped e-beam writer: Simulation vs experiment
Brackmann, V.; Friedrich, M.; Browning, C.; Hanisch, N.; Uhlig, B.
Konferenzbeitrag
2019Inkjet printed adhesives for advanced M(O)EMS packaging
Roshanghias, A.; Ma, Y.; Gaumont, E.; Neumaier, L.
Zeitschriftenaufsatz
2019Integration of complex miniaturized optical systems by place and bend assembly
Grüger, H.; Knobbe, J.; Meyer, S.
Konferenzbeitrag
2019Investigation of mechanical and optical properties of 3D printed materials serving as substrate for place and bend assembly
Grüger, H.; Knobbe, J.; Sabiha, M.H.
Konferenzbeitrag
2019Investigation of Pt-Salt-Doped-Standalone-Multiwall Carbon Nanotubes for On-Chip Interconnect Applications
Liang, J.; Chen, R.; Ramos, R.; Lee, J.; Okuno, H.; Kalita, D.; Georgiev, V.; Berrada, S.; Sadi, T.; Uhlig, B.; Lilienthal, K.; Dhavamani, A.; Könemann, F.; Gotsmann, B.; Goncalves, G.; Chen, B.; Asenov, A.; Dijon, J.; Todri-Sanial, A.
Zeitschriftenaufsatz
2019Ionenmobilitätsspektrometer mit FAIMS-Filter in MEMS-Technologie
Graf, Alexander; Hild, Olaf Rüdiger
Konferenzbeitrag
2019Kern für Echtzeit
Deicke, Frank; Beck, Monika
Internetbeitrag
2019Konzeptentwicklung eines optischen Messplatzes zur präzisen und hochdynamischen Bestimmung des zweidimensionalen Kippwinkels von 2D-Mikrospiegeln als Referenzmesssystem einer Echtzeitregelung
Stolba, Friedrich
: Czarske, Jürgen (Gutachter); Büttner, Lars (Gutachter); Sandner, Thilo (Gutachter)
Diplomarbeit
2019Li-Fi for Augmented Reality Glasses: A Proof of Concept
Kirrbach, René; Faulwaßer, Michael; Jakob, Benjamin; Schneider, Tobias
Konferenzbeitrag
2019Local crystallographic phase detection and texture mapping in ferroelectric Zr doped HfO2 films by transmission-EBSD
Lederer, M.; Kämpfe, T.; Olivo, R.; Lehninger, D.; Mart, C.; Kirbach, S.; Ali, T.; Polakowski, P.; Roy, L.; Seidel, K.
Zeitschriftenaufsatz
2019MEMS Aktuator-Array mit Kammantrieb und verbesserter Linearität
Neudert, A.; Felsberg, L.; Dürr, P.
Konferenzbeitrag
2019MEMS based NIR spectrometer with extended spectral range
Grüger, H.; Knobbe, J.; Pügner, T.
Konferenzbeitrag
2019MEMS mit einem beweglichen Strukturelement und MEMS-Array
Dürr, Peter; Neudert, Andreas
Patent
2019MEMS piston mirror arrays with force-balanced single spring
Dürr, P.; Neudert, A.; Kunze, D.; Friedrichs, M.
Konferenzbeitrag
2019Mikroelektromechanisches Bauteil sowie ein Verfahren zu seiner Herstellung
Döring, Sebastian; Friedrichs, Martin; Hürrich, Arnd; Rudloff, Dirk
Patent
2019Monolithisch ausgestalteter Spektralapparat
Grüger, Heinrich; Knobbe, Jens; Pügner, Tino
Patent
2019Multidirektionale Übersetzungs- und Neigungsplattform unter Verwendung von Biegeaktuatoren als aktive Entität
Gaudet, Matthieu; Kaiser, Bert
Patent
2019A Multilevel FeFET Memory Device based on Laminated HSO and HZO Ferroelectric Layers for High-Density Storage
Ali, T.; Olivo, R.; Lederer, M.; Hoffmann, R.; Steinke, P.; Zimmermann, K.; Mühle, U.; Seidel, K.; Müller, J.; Polakowski, P.; Kühnel, K.; Czernohorsky, M.; Kämpfe, T.; Rudolph, M.; Pätzold, B.; Lehninger, D.; Müller, F.
Konferenzbeitrag
2019Non-rotationally Symmetric Freeform Fresnel-Lenses for Arbitrary Shaped Li-Fi Communication Channels
Kirrbach, René; Faulwaßer, Michael; Jakob, Benjamin
Konferenzbeitrag
2019Novel atomic layer deposition of lithium-containing electrode and electrolyte thin films for 3D all-solid-state batteries
Speulmanns, Jan; Bönhardt, Sascha; Kia, Alireza M.; Weinreich, Wenke
Poster
2019Optik für Sende- und/oder Empfangs-Element, Kommunikationsmodul, Arrays aus Kommunikationsmodulen, System aus mehreren Kommunikationsmodulen und Verfahren zur Herstellung einer Optik
Kirrbach, René
Patent
2019Optische Charakterisierungsmethoden von siliziumbasierten MEMS mit verdeckten Strukturen
Stolz, Michael; Mrosk, A.; Kaiser, B.; Langa, S.; Ehrig, L.; Conrad, H.; Gaudet, M.; Schenk, H.
Konferenzbeitrag
2019Optische Mikrosysteme für verbesserte Bildgebung in der Biomedizin
Scholles, M.
Konferenzbeitrag
2019Platinum-Copper Defects in Silicon
Kolkovsky, V.; Kolkovsky, V.; Weber, J.
Zeitschriftenaufsatz
2019Principles and Challenges for Binary Oxide Based Ferroelectric Memory FeFET
Ali, T.; Polakowski, P.; Büttner, T.; Kämpfe, T.; Rudolph, M.; Pätzold, B.; Hoffmann, R.; Czernohorsky, M.; Kühnel, K.; Steinke, P.; Eng, L.M.; Seidel, K.
Konferenzbeitrag
2019Principles and Challenges for Binary Oxide Based Ferroelectric Memory FeFET
Ali, T.; Polakowski, P.; Büttner, T.; Kämpfe, T.; Rudolph, M.; Pätzold, B.; Hoffmann, R.; Czernohorsky, M.; Kühnel, K.; Steinke, P.; Eng, L.M.; Seidel, K.
Poster
2019Pyroelectric Energy Conversion in Doped Hafnium Oxide (HfO2) Thin Films on Area-Enhanced Substrates
Hanrahan, Brendan; Mart, Clemens; Kämpfe, Thomas; Czernohorsky, M.; Weinreich, Wenke; Smith, A.
Zeitschriftenaufsatz
2019Quasi-statischer MOEMS-Gitterscanner zum spektralen Durchstimmen eines MIR-Quantenkaskadenlasers
Merten, André; Schroedter, Richard; Dreyhaupt, André; Graßhoff, Thomas; Schwarzenberg, Markus; Hugger, Stefan; Schilling, Christian; Grahmann, Jan; Ostendorf, Ralf
Zeitschriftenaufsatz
2019Rasterscan mit ruckbegrenzten Trajektorien für quasi-statisch/resonante Mikroscanner
Schroedter, Richard; Schwarzenberg, Markus; Janschek, K.; Grahmann, Jan
Konferenzbeitrag
2019Reduced metal contamination from crucible and coating using a silicon nitride based diffusion barrier for the growth of cast quasi-single crystalline silicon ingots
Wolny, F.; Krause, A.; Müller, M.; Fischer, G.; Neuhaus, H.
Zeitschriftenaufsatz
2019Sensoranordnung und Verfahren zum Herstellen einer Sensoranordnung
Mart, Clemens; Polakowski, Patrick; Kämpfe, Thomas; Weinreich, Wenke
Patent
2019Separation of Individual Thermal Double-Donor Levels by Laplace Deep-Level Transient Spectroscopy
Gwozdz, K.; Kolkovsky, V.; Weber, J.
Zeitschriftenaufsatz
2019Silicone oil damping for quasi-static micro scanners with electrostatic vertical staggered comb drives
Schroedter, Richard; Grahmann, Jan; Janschek, Klaus
Zeitschriftenaufsatz
2019Small-signal modeling of mm-wave MOSFET up to 110 GHz in 22nm FDSOI technology
Le, Q.H.; Huynh, D.K.; Wang, D.; Kämpfe, T.; Rudolph, M.
Konferenzbeitrag
2019Solid-State LiDAR: Umgebungssensorik für sicheres autonomes Fahren
Amelung, J.; Galle, C.
Konferenzbeitrag
2019Spektralanalysesystem zum Aufnehmen eines Spektrums
Knobbe, Jens; Grüger, Heinrich
Patent
2019Spektralanalysesystem, mobiles Gerät mit einem Spektralanalysesystem, ein Verfahren zur Bestimmung einer Korrekturfunktion zur Abbildungskorrektur eines durch ein Spektralanalysesystem aufgenommenen Spektrums und Computerprogramm
Knobbe, Jens; Grüger, Heinrich
Patent
2019Structure and Thermoelectric Properties of CoSi-Based Film Composites
Kuznetsova, V.S.; Novikov, S.V.; Nichenametla, C.K.; Calvo, J.; Wagner-Reetz, M.
Zeitschriftenaufsatz
2019Studentische Beschäftigungsverhältnisse als Quelle des Active Sourcings? Eine Analyse am Beispiel des Fraunhofer-Instituts für Photonische Mikrosysteme IPMS
Wendenburg, Anja
: Haubold, Anne-Katrin (Gutachter); Richter, Thorsten S. (Gutachter)
Bachelor Thesis
2019Study of sub-volume activation in CoFeB/MgO memory devices near spin reorientation transition
Fidalgo, João; Lv, Hua; Silva, Ana V.; Leitão, Diana C.; Kämpfe, Thomas; Langer, Juergen; Wrona, Jerzy; Ocker, Berthold; Cardoso, Susana
Poster
2019Theory and Experiment of Antiferroelectric (AFE) Si-Doped Hafnium Oxide (HSO) Enhanced Floating-Gate Memory
Ali, T.; Polakowski, P.; Büttner, T.; Kämpfe, T.; Rudolph, M.; Pätzold, B.; Hoffmann, R.; Czernohorsky, M.; Kühnel, K.; Steinke, P.; Zimmermann, K.; Biedermann, K.; Eng, L.M.; Seidel, K.; Müller, J.
Zeitschriftenaufsatz
2019ToF-SIMS 3D Analysis of Thin Films Deposited in High Aspect Ratio Structures via Atomic Layer Deposition and Chemical Vapor Deposition
Kia, A.M.; Haufe, N.; Esmaeili, S.; Mart, C.; Utriainen, M.; Puurunen, R.L.; Weinreich, W.
Zeitschriftenaufsatz
2019Verfahren zum Herstellen eines mikroelektronischen Systems mit funktionalen Dünnschichten
Riedel, Stefan; Weinreich, Wenke
Patent
2019Wetting properties of LIPSS structured silicon surfaces
Varlamova, O.; Reif, J.; Stolz, M.; Borcia, R.; Borcia, I.D.; Bestehorn, M.
Zeitschriftenaufsatz
201810 Gbit/s bidirectional transceiver with monolithic optic for rotary connector replacements
Faulwaßer, M.; Kirrbach, R.; Schneider, T.; Noack, A.
Konferenzbeitrag
201814nm Ferroelectric FinFET technology with steep subthreshold slope for ultra low power applications
Krivokapic, Z.; Rana, U.; Galatage, R.; Razavieh, A.; Aziz, A.; Liu, J.; Shi, J.; Kim, H.J.; Sporer, R.; Serrao, C.; Busquet, A.; Polakowski, P.; Müller, J.; Kleemeier, W.; Jacob, A.; Brown, D.; Knorr, A.; Carter, R.; Banna, S.
Konferenzbeitrag
20183D Analysis of Thin Layers by ToF-SIMS
Mohammadian Kia, Alireza; Esmaeili, Sajjad; Mart, Clemens; Utriainen, Mikko; Haufe, Nora; Puurunen, Riikka L.; Weinreich, Wenke
Poster
2018Advances in MOEMS technologies for high quality imaging systems
Schenk, H.; Wagner, M.; Grahmann, J.; Merten, A.
Konferenzbeitrag
2018Aktoren auf Basis elektroaktiver Polymer/Nanopartikel Komposite und deren Anwendung in einer Mikrolinse mit variablem Fokus
Pawlik, Boscij
: Lakner, Hubert (Betreuer); Grabmaier, Anton (Betreuer)
Dissertation
2018Analog frontend for ultra low power 60-GHz RFID tag for back-scattering communication
Harutyunyan, A.
Konferenzbeitrag
2018Aspects of high aspect ratio silicon etching - capacitor application
Rudolph, Matthias; Pätzold, Björn; Czernohorsky, Malte
Vortrag
2018Automatic tracking of Li-Fi links for wireless industrial ethernet
Kirrbach, René; Faulwaßer, Michael; Schneider, Tobias; Ostermann, Robert; Noack, Alexander
Konferenzbeitrag
2018Automatic Tracking of Li-Fi Links for Wireless Industrial Ethernet
Kirrbach, René
Konferenzbeitrag
2018Barrier breakdown mechanism in nano-scale perpendicular magnetic tunnel junctions with ultrathin MgO barrier
Lv, Hua; Leitao, Diana C.; Hou, Zhiwei; Freitas, Paulo P.; Cardoso, Susana; Kämpfe, Thomas; Müller, Johannes; Langer, Juergen; Wrona, Jerzy
Zeitschriftenaufsatz
2018Bringing NIR spectrometers into mobile phones
Reinig, P.; Grüger, H.; Knobbe, J.; Pügner, T.; Meyer, S.
Konferenzbeitrag
2018Carbon-hydrogen-related complexes in Si
Kolkovsky, V.; Stübner, Ronald; Gwozdz, K.; Weber, Jörg
Zeitschriftenaufsatz
2018Challenges and Progress on Carbon Nanotube Integration for BEOL Interconnects
Uhlig, B.; Dhavamani, A.; Nagy, N.; Lilienthal, K.; Liske, R.; Ramos, R.; Dijon, J.; Okuno, H.; Kalita, D.; Lee, J.; Georgiev, V.; Asenov, A.; Amoroso, S.; Wang, L.; Koenemann, F.; Gotsmann, B.; Goncalves, G.; Chen, B.; Liang, J.; Pandey, R.R.; Chen, R.; Todri-Sanial, A.
Konferenzbeitrag
2018Charakterisierung und Bewertung von CuPc-basierten OFET's im Hinblick auf eine Anwendung als NO2-Sensor
Reichelt, Christoph
: Zipser, Stephan (Betreuer); Graf, Alexander (Betreuer)
Bachelor Thesis
2018Clamped-clamped in-plane electrostatic bending actuators in silicon-based microfluidic devices
Uhlig, Sebastian; Gaudet, Matthieu; Langa, Sergiu; Conrad, Holger; Kaiser, Bert; Stolz, Michael; Schenk, Harald
Vortrag
2018CMOS compatible pyroelectric applications enabled by doped HfO2 films on deep-trench structures
Mart, Clemens; Weinreich, Wenke; Czernohorsky, Malte; Riedel, Stefan; Zybell, Sabine; Kühnel, Kati
Konferenzbeitrag
2018CMOS design of Digital to Analog converters for active matrix Spatial Light Modulator applications
Paramesh, Vidwath
: Presberger, Thomas (Betr.); Horstmann, John Thomas (Betr.)
Master Thesis
2018CMOS-kompatibler MEMS-Lautsprecher für Im-Ohr-Anwendungen
Conrad, Holger; Ehrig, Lutz; Kaiser, Bert; Schenk, Hermann; Schuffenhauer, David; Stolz, Michael; Gaudet, Matthieu; Schenk, Harald
Konferenzbeitrag
2018CMUT with mechanically coupled plate actuators
Krenkel, Marcel; Kircher, Marco; Kupnik, Mario; Koch, Sandro
Konferenzbeitrag
2018Cobalt integration solutions - integration (R&D accelerator)
Gerlich, Lukas; Wislicenus, Marcus; Koch, Johannes; Dhavamani, Abitha; Esmaeili, Sajjad; Uhlig, Benjamin
Vortrag
2018Copper electroplating with polyethylene Glycol. Pt.II. Experimental analysis and determination of model parameters
Yang, Hongliu; Krause, Robert; Scheunert, Christin; Liske, Romy; Uhlig, Benjamin; Preusse, Axel; Dianat, Arezoo; Bobeth, Manfred; Cuniberti, Gianaurelio
Zeitschriftenaufsatz
2018Design of on-chip RFID transponder antennas
Heinig, Andreas
Konferenzbeitrag
2018Design of On-Chip RFID Transponder Antennas
Heinig, Andreas
Konferenzbeitrag
2018Development of titanium oxide conformal thin film by atomic layer deposition
Mohammadian Kia, Alireza
Poster
2018Drahtlose Datenübertragung für kurze und lange Strecken. Alternative Li-Fi
Noack, Alexander
Zeitschriftenaufsatz
2018Electrostatically Driven In-Plane Silicon Micropump for Modular Configuration
Uhlig, Sebastian; Gaudet, Matthieu; Langa, Sergiu; Schimmanz, Klaus; Conrad, Holger; Kaiser, Bert; Schenk, Harald
Zeitschriftenaufsatz
2018Enhancement of vertical integration density by engineered BSOI wafers
Kaden, C.; Langa, S.; Ludewig, T.; Schönberger, A.; Herrmann, A.; Göbel, A.; Kolkovsky, V.; Jeroch, W.; Pufe, W.
Zeitschriftenaufsatz
2018Entwicklung eines Beleuchtungsmoduls für stroboskopische, phasenschiebende Interferometrie
Medeiros Ventura, Luiz Guilherme de
: Heitmann, Johannes (Gutachter); Skupsch, Christoph (Gutachter); Wolschke, Steffen (Betreuer)
Master Thesis
2018Entwicklung eines Transmitters mit Hochleistungsleuchtdiode für die optische drahtlose Datenübertragung
Lei, Lei
: Ostermann, Robert (Betreuer); Fischer, Wolf-Joachim (Gutachter)
Diplomarbeit
2018A FeFET based super-low-power ultra-fast embedded NVM technology for 22nm FDSOI and beyond
Dünkel, S.; Trentzsch, M.; Richter, R.; Moll, P.; Fuchs, C.; Gehring, O.; Majer, M.; Wittek, S.; Müller, B.; Melde, T.; Mulaosmanovic, H.; Slesazeck, S.; Müller, S.; Ocker, J.; Noack, M.; Löhr, D.-A.; Polakowski, P.; Müller, J.; Mikolajick, T.; Höntschel, J.; Rice, B.; Pellerin, J.; Beyer, S.
Konferenzbeitrag
2018Flatness-based open-loop and closed-loop control for electrostatic quasi-static microscanners using jerk-limited trajectory design
Schroedter, Richard; Roth, Matthias; Janschek, Klaus; Sandner, Thilo
Zeitschriftenaufsatz
2018Fraunhofer Institute for Photonic Microsystems. Annual Report 2017
 
Jahresbericht
2018Frequency domain analysis of pyroelectric response in silicon-doped hafnium oxide (HfO2) thin films
Mart, Clemens; Czernohorsky, Malte; Zybell, Sabine; Kämpfe, Thomas; Weinreich, Wenke
Zeitschriftenaufsatz
2018Functional integration - structure-integrated wireless sensor technology targeting smart mechanical engineering applications
Rülke, Steffen; Beyer, Volkhard; Zorn, Wolfgang; Meinig, Marco; Wecker, Julia; Reuter, Danny; Deicke, Frank; Clausner, André; Werner, Thomas
Konferenzbeitrag
2018The gateone-project: A digital innovation hub accelerating innovation through ecosystem design and product trajectory
Hamelin, R.; Andrieux, G.; Chartier, I.; Roustom, B.; Healy, T.; Ali, Z.; Legrand, B.; Mayora, K.; Scholles, M.; Guerre, R.
Konferenzbeitrag
2018Grundlegende Untersuchungen zur Phasenmodulation von Licht im Subnanometer-Bereich mittels diffraktiver Mikrospiegelarrays
Sicker, Cornelius
: Schenk, Harald; Reif, Jürgen
Dissertation
2018High Endurance Ferroelectric Hafnium Oxide-Based FeFET Memory Without Retention Penalty
Ali, T.; Polakowski, P.; Riedel, S.; Büttner, T.; Kämpfe, T.; Rudolph, M.; Pätzold, B.; Seidel, K.; Löhr, D.; Hoffmann, R.; Czernohorsky, M.; Kühnel, K.; Steinke, P.; Calvo, J.; Zimmermann, K.; Müller, J.
Zeitschriftenaufsatz
2018High-Speed, Cellular Li-Fi HotSpot for Real-Time Applications
Kirrbach, René; Faulwaßer, Michael; Ostermann, Robert; Jakob, Benjamin; Noack, Alexander
Vortrag
2018Hydrogen-related defects in Al2O3 layers grown on n-type Si by the atomic layer deposition technique
Kolkovsky, Vladimir; Stübner, Ronald
Zeitschriftenaufsatz
2018Interaction of hydrogen with hafnium dioxide grown on silicon dioxide by the atomic layer deposition technique
Kolkovsky, Vladimir; Scholz, Sebastian; Kolkovsky, Valery; Schmidt, Jan-Uwe; Heller, Rene
Zeitschriftenaufsatz
2018Kanalkodierungen in der optisch-drahtlosen Übertragung
Audi, Maher
: Faulwaßer, Michael (Betreuer); Noack, Alexander (Betreuer); Tutsch, Dietmar (Gutachter); Möller, Reinhard (Gutachter)
Master Thesis
2018Knickbares Substrat mit Bauelement
Grüger, Heinrich; Knobbe, Jens; Pügner, Tino
Patent
2018Konzeption und Herstellung von Systemdemonstratoren für miniaturisierte Im-Ohr-Lautsprecher mit drahtlosen Kommunikationsschnittstellen
Horky, Steve
: Kaiser, Bert (Betreuer); Bauer, Reinhard (Betreuer)
Diplomarbeit
2018Konzipierung und Umsetzung eines Automotive Ethernet-MAC IP-Cores
Zhu, Hailong
: Hildebrandt, Ralf (Betreuer); Fischer, Wolf-Joachim (Gutachter)
Diplomarbeit
2018Layer thickness scaling and wake-up effect of pyroelectric response in Si-doped HfO2
Mart, Clemens; Kämpfe, Thomas; Zybell, Sabine; Weinreich, Wenke
Zeitschriftenaufsatz
2018Li-Fi für Kurzstrecken. Drahtlose Industriekommunikation
Noack, Alexander
Zeitschriftenaufsatz
2018Liquid pumping induced by transverse forced vibrations of an elastic beam: A lubrication approach
Borcia, Rodica; Bestehorn, Michael; Uhlig, Sebastian; Gaudet, Matthieu; Schenk, Harald
Zeitschriftenaufsatz
2018Liquid pumping induced by transverse forced vibrations of an elastic beam: A lubrication approach
Borcia, Rodica; Bestehorn, Michael; Uhlig, Sebastian; Gaudet, Matthieu; Schenk, Harald
Vortrag
2018Liquid pumping induced by transverse forced vibrations of an elastic beam: A lubrication approach
Borcia, Rodica; Bestehorn, Michael; Uhlig, Sebastian; Gaudet, Matthieu; Schenk, Harald
Vortrag
2018Lithium Detection and Tracking for Solid State Battery Test Stacks
Mohammadian Kia, Alireza; Haufe, Nora; Zybell, Sabine; Bönhardt, Sascha; Kühnel, Kati; Speulmanns, Jan K.; Weinreich, Wenke
Poster
2018LPCVD in-situ doped silicon for thermoelectric applications
Calvo, Jesús; Drescher, Maximilian; Kühnel, Kati; Sauer, Bodo; Müller, Michael; Schmidt, Christian; Boui, Fatima; Völklein, Friedemann; Wagner-Reetz, Maik
Zeitschriftenaufsatz
2018Mechanically coupled capacitive ultrasonic transducer
Krenkel, Marcel; Lange, Nicolas; Koch, Sandro; Kircher, Marco
Konferenzbeitrag
2018MEMS basierte Ultraschallwandler für die Anwendung in flüssigen und gasförmigen Umgebungen und Möglichkeiten der CMOS Integration
Lange, Nicolas; Grafe, Mario; Koch, Sandro; Kaden, Christiane; Schulze, Matthias
Vortrag
2018MEMS integration on foundry-fabricated CMOS backplanes
Hohle, Christoph; Schulze, Matthias
Aufsatz in Buch
2018MEMS-Tunable VCSELs-Driven Terahertz Emitters Based on Conventional and Nanoelectrode Photomixers
Haidar, M.T.
Dissertation
2018MEMS-Wandler zum Interagieren mit einem Volumenstrom eines Fluids und Verfahren zum Herstellen desselben
Conrad, Holger; Schenk, Harald
Patent
2018Microoptoelectromechanical systems-based external cavity quantum cascade lasers for real-time spectroscopy
Butschek, Lorenz; Hugger, Stefan; Jarvis, Jan-Philip; Härtelt, Marko; Merten, André; Schwarzenberg, Markus; Grahmann, Jan; Stothard, David; Warden, Matthew; Carson, Christoph; Macarthur, John; Fuchs, Frank; Ostendorf, Ralf; Wagner, Joachim
Zeitschriftenaufsatz
2018Mikromechanische Bauelemente mit mechanischen Aktuatoren
Conrad, Holger; Gaudet, Matthieu; Schenk, Harald; Uhlig, Sebastian
Patent
2018MMS, MMS-Array, MEMS-Aktuator und Verfahren zum Bereitstellen eines MMS
Dürr, Peter; Friedrichs, Martin; Gehner, Andreas; Kunze, Detlef
Patent
2018Modellbasierter Systementwurf zur Steuerung und Regelung quasi-statischer Mikroscannerspiegel mit elektrostatischem Kammantrieb
Schroedter, Richard
: Hofmann, Wilfried; Janschek, Klaus
Dissertation
2018Modulating complex beams in amplitude and phase using fast tilt-micromirror arrays and phase masks
Roth, M.; Heber, Jörg; Janschek, Klaus
Zeitschriftenaufsatz
2018Monolithic integration for photonic applications: MEMS on CMOS and functional BSOI
Kaden, Christiane; Schulze, Matthias
Vortrag
2018MOSFET threshold Voltage Shift induced by Ion Implantation performed in different Implanters
Kalkovsky, Vladimir; Hürrich, Arnd; Ende, Lutz
Konferenzbeitrag
2018New way to realize miniaturized complex optical systems in high volume
Grüger, Heinrich; Knobbe, Jens; Pügner, Tino; Reinig, Peter; Meyer, Sebastian
Konferenzbeitrag
2018Novel 512 × 320 Tip-Tilt Micro Mirror Array in a CMOS-Integrated, Scalable Process Technology
Gehner, A.; Dürr, P.; Kunze, D.; Rudloff, D.; Elgner, A.; Heber, J.; Francés, S.; Skupsch, C.; Torlee, H.; Eckert, M.; Friedrichs, M.; Schmidt, J.; Pufe, W.; Döring, S.; Hohle, C.; Schulze, M.; Wagner, M.
Konferenzbeitrag
2018A novel electrostatic actuator, the Nano-E-Drive, and its integration in a micropump design
Gaudet, Matthieu
Vortrag
2018Optische Anordnung für ein Spektralanalysesystem, Verfahren zu dessen Herstellung und Spektralanalysesystem
Grüger, Heinrich; Knobbe, Jens; Pügner, Tino
Patent
2018Optische Anordnung zur Erzeugung von Lichtfeldverteilungen und Verfahren zum Betrieb einer optischen Anordnung
Heber, Jörg; Janschek, Klaus; Roth, Matthias
Patent
2018Passive RFID sensors - battery-free, wireless pressure measurements
Weder, Andreas; Koch, Sandro; Grätz, Hagen; Kircher, Marco
Vortrag
2018Passive sensor transponders - wireless, battery-free sensing with RFID technology
Weder, Andreas
Vortrag
2018A physics-based investigation of Pt-salt doped carbon nanotubes for local interconnects
Liang, J.; Ramos, R.; Dijon, J.; Okuno, H.; Kalita, D.; Renaud, D.; Lee, J.; Georgiev, V.P.; Berrada, S.; Sadi, T.; Asenov, A.; Uhlig, B.; Lilienthal, K.; Dhavamani, A.; Könemann, F.; Gotsmann, B.; Goncalves, G.; Chen, B.; Teo, K.; Pandey, R.R.; Todri-Sanial, A.
Konferenzbeitrag
2018Plagiatschutz mittels RFID
Holland, Hans-Jürgen
Vortrag
2018Progress on carbon nanotube BEOL interconnects
Uhlig, B.; Liang, J.; Lee, J.; Ramos, R.; Dhavamani, A.; Nagy, N.; Dijon, J.; Okuno, H.; Kalita, D.; Georgiev, V.; Asenov, A.; Amoroso, S.; Wang, L.; Millar, C.; Konemann, F.; Gotsmann, B.; Goncalves, G.; Chen, B.; Pandey, R.R.; Chen, R.; Todri-Sanial, A.
Konferenzbeitrag
2018Rapid Synthesis of Sub‐10 nm Hexagonal NaYF4‐Based Upconverting Nanoparticles using Therminol® 66
Hesse, J.; Klier, D.T.; Sgarzi, M.; Nsubuga, A.; Bauer, C.; Grenzer, J.; Hübner, R.; Wislicenus, M.; Joshi, T.; Kumke, M.U.; Stephan, H.
Zeitschriftenaufsatz
2018Reliable high-density energy storage in Si-doped HfO2 thin films on 3D-structures
Kühnel, Kati; Riedel, Stefan; Mart, Clemens; Weinreich, Wenke
Vortrag
2018Repetitive nonlinear control for linear scanning micro mirrors
Schroedter, R.; Schwarzenberg, M.; Grahmann, J.; Sandner, T.; Janschek, K.
Konferenzbeitrag
2018Research Fab Microelectronics Germany - A novel cooperation concept for jointly technology development
Amelung, J.
Konferenzbeitrag
2018A review of acoustic impedance matching methods to validate additive manufactured metamaterial for capacitive micromachined ultrasonic transducers
Schweiger, Severin; Koch, Sandro
Konferenzbeitrag
2018Silicon doped hafnium oxide (HSO) and hafnium zirconium oxide (HZO) based FeFET
Ali, T.; Polakowski, P.; Riedel, S.; Büttner, T.; Kämpfe, T.; Rudolph, M.; Pätzold, B.; Seidel, K.; Löhr, D.; Hoffmann, R.; Czernohorsky, M.; Kühnel, K.; Thrun, X.; Hanisch, N.; Steinke, P.; Calvo, J.; Müller, J.
Zeitschriftenaufsatz
2018Smart and efficient optimization of NED actuators
Schuffenhauer, David; Gaudet, Matthieu; Conrad, Holger
Konferenzbeitrag
2018Subnanometer calibration of diffractive micromirror arrays
Sicker, C.; Heber, J.; Berndt, D.
Konferenzbeitrag
2018Subnanometer calibration of diffractive micromirror arrays
Sicker, Cornelius; Heber, Jörg; Berndt, Dirk
Vortrag
2018System zur Analyse von elektromagnetischer Strahlung und Bauelement zur Herstellung desselben
Grüger, Heinrich; Knobbe, Jens; Pügner, Tino
Patent
2018Towards a compact, portable, handheld device for contactless real-time standoff detection of hazardous substances
Carson, Christopher; Macarthur, John; Warden, Matthew; Stothard, David; Butschek, Lorenz; Hugger, Stefan; Jarvis, Jan-Philip; Härtelt, Marko; Ostendorf, Ralf; Merten, André; Schwarzenberg, Markus; Grahmann, Jan; Ratajczyk, Marcin
Konferenzbeitrag
2018Translatory MEMS actuator with wafer level vacuum package for miniaturized NIR Fourier transform spectrometers
Sandner, Thilo; Gaumont, Eric; Grasshoff, Thomas; Auböck, Gerald; Kenda, Andreas; Gisler, Thomas; Langa, Sergiu; Herrmann, Andreas; Grahmann, Jan
Konferenzbeitrag
2018Tuning parameters and their impact on ferroelectric hafnium oxide
Polakowski, Patrick; Büttner, Teresa; Ali, Tarek Nadi Ismail; Riedel, Stefan; Kämpfe, Thomas; Seidel, Konrad; Müller, Johannes; Pätzold, Björn
Vortrag
2018Ultrathin Lithium Ion Diffusion Barrier for On-Chip 3D All-Solid-State Batteries
Speulmanns, Jan; Zybell, Sabine; Mohammadian Kia, Alireza; Bönhardt, Sascha; Weinreich, Wenke; Liske, Romy
Poster
2018Understanding Electromigration in Cu-CNT Composite Interconnects
Lee, J.; Berrada, S.; Adamu-Lema, F.; Nagy, N.; Georgiev, V.P.; Sadi, T.; Liang, J.; Ramos, R.; Carrillo-Nunez, H.; Kalita, D.; Lilienthal, K.; Wislicenus, M.; Pandey, R.; Chen, B.; Teo, K.B.K.; Goncalves, G.; Okuno, H.; Uhlig, B.; Todri-Sanial, A.; Dijon, J.; Asenov, A.
Zeitschriftenaufsatz
2018Vertically aligned carbon nanotube films as absorption layers for IR applications
Kini, Mandar; Bonitz, Jens; Müller, Michael; Schulz, Stefan E.; Hermann, Sascha
Konferenzbeitrag
2018Vertically integrated modeling of light-induced defects
Laine, H.S.; Vahlman, H.; Haarahiltunen, A.; Jensen, M.A.; Modanese, C.; Wagner, M.; Wolny, F.; Buonassisi, T.; Savin, H.
Konferenzbeitrag
2018Vollduplex-Transceiver für die optische drahtlose Hochgeschwindigkeitskommunikation
Faulwaßer, Michael
: Fischer, Wolf-Joachim; Jamshidi, Kambiz; Henker, Matthias
Dissertation
2018Wake-up effect of pyroelectric response in doped HfO2
Mart, Clemens; Kämpfe, Thomas; Zybell, Sabine; Weinreich, Wenke
Abstract
2017Acoustic simulation and characterization of capacitive micromachined ultrasonic transducers
Klemm, Markus
: Gerlach, Gerald (Gutachter); Kupnik, Mario
Dissertation
2017Adsorptionsuntersuchungen in einem Mehrkomponenten-Additiv-System bei der elektrochemischen Kupferabscheidung im Bereich Halbleitermetallisierung
Scheunert, Christin
: Krause, Robert (Betreuer); Kalies, Grit (Betreuer)
Bachelor Thesis
2017ASIC zur Ansteuerung und Signalerfassung eines CMUT
Pietzsch, Marcus; Weder, Andreas; Heinig, Andreas; Amelung, Jörg; Koch, Sandro; Kircher, Marco
Konferenzbeitrag
2017Atomic Layer Deposition (ALD) and characterization of Ti- and Co-based films for Lithium-Ion Batteries (LIB)
Hoßbach, C.; Neumann, V.; Reddy, K.D.S.; Bönhardt, S.; Stoeck, A.; Fischer, D.; Reif, J.; Shukla, S.; Zybell, S.; Albert, M.; Giebeler, L.; Bartha, J.W.
Poster
2017Atomic layer deposition of functional films for all-solid-state lithium-ion microbatteries
Zybell, Sabine
Vortrag
2017Atomic layer deposition of lithium titanate on planar and 3D-structured 200 mm silicon substrates
Bönhardt, Sascha
Vortrag
2017Ein Beitrag zur Simulation und Realisierung repetitiver Regelungsalgorithmen für elektrostatische quasi-statische Mikrospiegel
Che, Xingqi
: Schroedter, Richard (Betreuer); Janschek, Klaus (Betreuer)
Diplomarbeit
2017BEoL post CMP cleaning challenges for 22 nm FD-SOI and beyond
Koch, Johannes; Rehschuh, Stephan; Gerlich, Lukas; Dhavamani, Abitha; Steinke, Philipp; Krause, Robert; Naue, Johannes; Bott, Sascha; Vasilev, Boris; Breuer, Dirk; Seidel, Robert; Preusse, Axel; Bartha, Johann Wolfgang; Uhlig, Benjamin
Konferenzbeitrag
2017Capacitance maximization of ultra-thin Si-capacitors by atomic layer deposition of anti-ferroelectric HfO2 in high aspect ratio structures
Riedel, Stefan; Weinreich, Wenke; Mart, Clemens; Müller, Johannes
Vortrag
2017Carbon-hydrogen related defects in SiGe observed after dc H plasma treatment
Stübner, Ronald; Kolkovsky, Vladimir; Weber, Jörg; Abrosimov, Nikolay V.
Zeitschriftenaufsatz
2017Carbon-related defects in microelectronics
Kolkovsky, V.; Stübner, R.; Weber, J.
Zeitschriftenaufsatz
2017Charakterisierung der Zuverlässigkeit in der High-k Metal Gate Technologie
Drescher, Maximilian; Erben, Elke; Grass, Carsten; Trentzsch, Martin; Lazarevic, Florian; Leitsmann, Roman; Plaenitz, Philipp; Mchedlidze, Teimuraz; Seidel, Konrad; Liske, Romy; Bartha, Johann Wolfgang
Konferenzbeitrag
2017CMOS-design of a cascadable front-end ASIC for capacitive micromachined ultrasonic transducer (CMUT) arrays
Weder, Andreas; Koch, Sandro; Pietzsch, Marcus; Heinig, Andreas; Kircher, Marco; Lange, Nicolas; Amelung, Jörg
Konferenzbeitrag
2017CMOS-design of a cascadable front-end ASIC for capacitive micromachined ultrasonic transducer (CMUT) arrays
Weder, Andreas; Koch, Sandro; Pietzsch, Marcus; Heinig, Andreas; Kircher, Marco; Lange, Nicolas; Amelung, Jörg
Vortrag
2017CMOS-design of a cascadable front-end ASIC for CMUT arrays
Koch, Sandro G.; Weder, Andreas; Pietzsch, Marcus; Heinig, Andreas; Kircher, Marco; Grafe, Mario; Lange, Nicolas; Amelung, Jörg
Vortrag
2017CMOS-kompatible elektrostatische Biegeaktoren
Conrad, Holger; Gaudet, Matthieu; Kaiser, Bert; Langa, Sergiu; Stolz, Michael; Schenk, Harald
Konferenzbeitrag
2017Concept for a new approach to realize complex optical systems in high volume
Grüger, H.; Knobbe, J.; Pügner, T.; Leuckefeld, M.; Reinig, P.; Meyer, S.
Konferenzbeitrag
2017Concept for the fast modulation of light in amplitude and phase using analog tilt-mirror arrays
Roth, M.; Heber, J.; Janschek, K.
Konferenzbeitrag
2017Concept for the fast modulation of light in amplitude and phase using analog tilt-mirror arrays
Roth, Matthias; Heber, Jörg; Janschek, Klaus
Vortrag
2017A contribution to the expansion of the applicability of electrostatic forces in micro transducers
Schenk, H.; Conrad, H.; Gaudet, M.; Uhlig, S.; Kaiser, B.; Langa, S.; Stolz, M.; Schimmanz, K.
Konferenzbeitrag
2017Customized BSOI wafers integration of additional interconnects into the handle wafer
Kaden, Christiane; Langa, Sergiu
Vortrag
2017Customized micro mirror array for highly parallel industrial laser direct processing on the micro- and nanoscale
Schmidt, Jan-Uwe; Dürr, Peter; Wagner, Michael
Konferenzbeitrag
2017Development of CMOS-compatible materials for thermoelectric and sensor applications in semiconductor industry
Wagner-Reetz, M.; Calvo, J.; Nichenametla, C.K.; Kühnel, K.; Göhler, T.; Schulz, S.; Burkov, A.; Uhlig, B.
Vortrag
2017Development of MEMS-based capacitive ultrasonic transducers - technology, applications and perspectives for ultrasonic sensing
Kircher, Marco
Vortrag
2017Development of metal oxide processes for highly conformal thin layers by plasma enhanced atomic layer deposition
Kia, Alireza Mohammadian
: Hiller, Karla (Betreuer); Weinreich, Wenke (Betreuer)
Master Thesis
2017Development of transition metal silicides as thinfilm materials for thermoelectric applications
Nichenametla, Charan Krishna
: Wagner-Reetz, Maik; Schulz, Stefan E.
Master Thesis
2017Druckvorrichtung zum Drucken einer dreidimensionalen Struktur
Unamuno-Eguren, Anartz; Klemm, Markus
Patent
2017Electrically tunable micro-lens with a strain-enhanced polymer nanocomposite actuator
Costache, Florenta; Pawlik, Boscij; Rieck, Andreas
Konferenzbeitrag
2017Electrochemical characterization of lithium containing thin films
Dorai Swamy Reddy, Keerthi
: Zybell, Sabine (Betreuer); Neumann, Volker (Betreuer); Bartha, Johann Wolfgang (Gutachter); Albert, Matthias (Gutachter)
Master Thesis
2017Electrostactically in-plane driven silicon micropump for modular configuration
Uhlig, Sebastian; Gaudet, Matthieu; Langa, Sergiu; Schimmanz, Klaus; Conrad, Holger; Kaiser, Bert; Schenk, Harald
Konferenzbeitrag
2017Electrostatic bending actuators with a liquid filled nanometer scale gap
Gaudet, Matthieu; Uhlig, Sebastian; Stolz, Michael; Arscott, Steve; Conrad, Holger; Langa, Sergiu; Kaiser, Bert; Schenk, Harald
Konferenzbeitrag
2017Elektrooptisch induzierte Wellenleiter in paranematischen Flüssigkeitskristallen
Blasl, Martin
: Schenk, Harald (Gutachter); Seibold, Götz (Gutachter); Schröder, Thomas (Gutachter); Küppers, Franko (Gutachter)
Dissertation
2017Enhanced reliability and capacitance stability of ZrO2-based decoupling capacitors by interface doping with Al2O3
Mart, Clemens; Zybell, Sabine; Riedel, Stefan; Czernohorsky, Malte; Seidel, Konrad; Weinreich, Wenke
Zeitschriftenaufsatz
2017Entwicklung und Simulation einer Kollimator- und Fokusoptik für die optische drahtlose Datenübertragung
Kirrbach, René
: Noack, Alexander (Betreuer); Fischer, Wolf-Joachim (Gutachter); Marschner, Uwe (Gutachter)
Diplomarbeit
2017Entwicklung von Mechanismen für die unbeaufsichtigte Windows-10-Installation im Fraunhofer IPMS unter Berücksichtigung spezifischer Datenschutzrichtlinien
Keller, Denni
: Richter, Felix (Betreuer); Baumgartl, Robert (Betreuer)
Diplomarbeit
2017Entwurf und Analyse einer Forward-Error-Correction (FEC) für optische Übertragungssysteme mit Intensitätsmodulation, limitierenden Verstärkern und begrenzten Decoder-Ressourcen
Müller, Franz
: Henker, M. (Betreuer); Faulwaßer, M. (Betreuer)
Master Thesis
2017Erarbeitung eines Lösungsvorschlages zur Erstellung einer TestBench mittels der "Universal Vertification Methodology" (UVM)
Miersch, Matthias
: Hildebrandt, Ralf (Betreuer); Fischer, Wolf-Joachim (Gutachter); Marschner, Uwe (Gutachter)
Diplomarbeit
2017Erarbeitung von Lösungsvorschlägen für integrierte Temperatursensoren in RFID-Transponder
Li, Bo
: Landwehr, Matthias; Fischer, Wolf-Joachim
Diplomarbeit
2017Erarbeitung von Lösungsvorschlägen zur Optimierung einer vorhandenen UHF-RFID-Frontend-Schaltung
Gottfried, Tobias
: Landwehr, Matthias; Klix, Wilfried
Diplomarbeit
2017Erhöhte Sicherheit durch RFID-Sensorik für Predictive Maintenance Anwendungen
Weder, A.
Zeitschriftenaufsatz
2017Erhöhung der Zuverlässigkeit von High-k Dielektrika für integrierte hochkapazitive Kondensatoren
Mart, Clemens
: Weber, Jörg (Gutachter); Lakner, Hubert (Gutachter); Weinreich, Wenke (Betreuer)
Master Thesis
2017Evaluation of an electrochemical corrosion technique for the determination of static etch rates of post CMP cleaning chemicals
Krause, Robert; Koch, Johannes; Rehschuh, Stephan; Naue, Johannes; Bott, Sascha; Uhlig, Benjamin; Vasilev, Boris
Vortrag
2017The fabrication of copper-carbon nanotube composites for global interconnects
Nagy, Nicole; Lilienthal, Katharina; Uhlig, Benjamin
Poster
2017Ferroelectric HfO2 thin film testing and whole wafer mapping with non-contact corona-Kelvin metrology
Marinskiy, D.; Polakowski, P.; Edelman, P.; Wilson, M.; Lagowski, J.; Metzger, J.; Binder, R.; Müller, J.
Zeitschriftenaufsatz
2017Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme. Jahresbericht 2016
 
Jahresbericht
2017From machine data to forecast model: How data-driven new maintenance concepts are created for the production
Reichelt, Dirk
Vortrag
2017Gewitter im Chip - Resistive Speicher für low-power Anwendungen
Seidel, Konrad; Riedel, Stefan; Kalishettyhalli Ma, Mamathamba; Polakowski, Patrick; Müller, Johannes
Konferenzbeitrag
2017Herstellung und Charakterisierung von LiPON als Feststoffelektrolyt für integrierbare Lithium-Ionen-Batterien auf Siliziumbasis
Krämer, Vincent
: Zybell, Sabine (Betr.); Ingebrandt, Sven (Betr.); Saumer, Monika (Betr.)
Master Thesis
2017Herstellung und Messung von elektrischen Teststrukturen zur Untersuchung von Elektromigration in Kupfer-CNT-Kompositen
Makus, Steffen
: Lilienthal, Katharina (Betreuer)
Master Thesis
2017High-K metal gate stacks with ultra-thin interfacial layers formed by low temperature microwave-based plasma oxidation
Czernohorsky, M.; Seidel, K.; Kühnel, K.; Niess, J.; Sacher, N.; Kegel, W.; Lerch, W.
Zeitschriftenaufsatz
2017How to analyze food and future requirements for NIR spectroscopy
Reinig, Peter; Grüger, Heinrich; Hintschich, Susanne; Knobbe, Jens; Pügner, Tino
Konferenzbeitrag
2017How to integrate MEMS on foundry-fabricated CMOS backplanes
Schulze, Matthias; Hohle, Christoph; Friedrichs, Martin
Konferenzbeitrag
2017Interface traps in 28 nm node field effect transistors detected by capacitance transient spectroscopy
Mchedlidze, T.; Drescher, M.; Erben, E.; Weber, J.
Zeitschriftenaufsatz
2017Josephson effects at iron pnictide superconductors: Approaching phase-sensitive experiments
Schmidt, S.; Döring, S.; Hasan, N.; Schmidl, F.; Tympel, V.; Kurth, F.; Iida, K.; Ikuta, H.; Wolf, T.; Seidel, P.
Zeitschriftenaufsatz
2017Kapazitive mikromechanische Ultraschallsysteme (CMUT) für die zerstörungsfreie Materialcharakterisierung und -überwachung
Koch, Sandro G.; Kircher, Marco; Grafe, Mario
Vortrag
2017Kapazitive mikromechanische Ultraschallsysteme (CMUT) für die zerstörungsfreie Prüfung und Überwachung
Koch, Sandro G.; Lange, Nicolas; Kircher, Marco; Krenkel, Marcel; Grafe, Mario; Rudloff, Dirk; Amelung, Jörg
Konferenzbeitrag
2017Kapazitive mikromechanische Ultraschallwandler für die zerstörungsfreie Prüfung und Überwachung
Koch, Sandro G.; Lange, Nicolas; Kircher, Marco; Krenkel, Marcel; Grafe, Mario; Rudloff, Dirk; Amelung, Jörg
Poster
2017Lebensmittellabor im Handy. Dem Food Scanner einen Schritt näher
Grüger, Heinrich
Bericht
2017Li-Fi - Optical Wireless Communication
Deicke, Frank
Zeitschriftenaufsatz
2017Li-Fi roadshow trail. For the smart systems hub
Noack, Alexander
Vortrag
2017MEMS-based ultrasonic sensor systems for applications in fluid environment
Grafe, Mario
Vortrag
2017MiBot-Einsatz in der Gruppe MESYS
Schimmanz, Klaus
Vortrag
2017Microcontroller based closed-loop control of a 2D quasi-static/resonant microscanner with on-chip piezo-resistive sensor feedback
Schroedter, Richard; Schwarzenberg, Markus; Dreyhaupt, André; Barth, Robert; Sandner, Thilo; Janschek, Klaus
Konferenzbeitrag
2017Mikrochip mit einer RFID-Transponder-Schaltung und einer ON-Chip-Schlitzantenne
Heiß, Michael
Patent
2017Miniature photonic system for next generation food quality authentication
Hintschich, Susanne; Reinig, Peter
Poster
2017Miniaturisierte Laserlichtquelle für Infrarotspektroskopie
Merten, A.; Dreyhaupt, A.; Hugger, S.; Butschek, L.; Grahmann, J.; Schwarzenberg, M.; Ostendorf, R.; Jarvis, J.; Härtelt, M.
Konferenzbeitrag
2017Miniaturized NIR spectrometers - state of the art & recent developments
Reinig, Peter; Knobbe, Jens; Pügner, Tino; Hintschich, Susanne; Meyer, Sebastian; Grüger, Heinrich
Vortrag
2017Miniaturized sensor for the detection of environmental pollutants
Graf, Alexander; Stübner, Ronald; Kunath, Christian; Meyer, Sebastian; Schenk, Harald
Konferenzbeitrag
2017Miniaturized sensor for the detection of environmental pollutants
Graf, Alexander; Stübner, Ronald; Kunath, Christian; Meyer, Sebastian; Schenk, Harald
Poster
2017Modeling the effects of lanthanum, nitrogen, and fluorine treatments of Si-SiON-HfO2-TiN gate stacks in 28 nm high-k-metal gate technology
Leitsmann, R.; Lazarevic, F.; Drescher, M.; Erben, E.
Zeitschriftenaufsatz
2017Modellierung und Simulation des Chemisch-mechanischen Planarisierens unter besonderer Berücksichtigung langreichweitiger Wechselwirkungen auf der Chipskala
Bott, Sascha
: Gerlach, G.; Bartha, J.W.; Heitmann, J.
Dissertation
2017Morphology-driven control of metabolite selectivity using nanostructure-initiator mass spectrometry
Gao, Jian; Louie, Katherine B.; Steinke, Philipp; Bowen, Benjamin P.; Raad, Markus de; Zuckermann, Ronald N.; Siuzdak, Gary; Northen, Trent R.
Zeitschriftenaufsatz
2017Nano-powerplant for on-chip autonomous systems
Weinreich, Wenke
Vortrag
2017Nitrogen Engineering in the Ultrathin SiO2 Interface Layer of High- k CMOS Devices: A First-Principles Investigation of Fluorine, Oxygen, and Boron Defect Migration
Lazarevic, F.; Leitsmann, R.; Drescher, M.; Erben, E.; Plänitz, P.; Schreiber, M.
Zeitschriftenaufsatz
2017A novel electrostatic actuator technology for integrated RF MEMS and optical switches
Shashank; Conrad, Holger; Gaudet, Matthieu; Kaiser, Bert; Langa, Sergiu; Stolz, Michael; Uhlig, Sebastian; Schimmanz, Klaus; Schenk, Harald
Poster
2017Novel ferroelectric FET based synapse for neuromorphic systems
Mulaosmanovic, H.; Ocker, J.; Müller, S.; Noack, M.; Müller, J.; Polakowski, P.; Mikolajick, T.; Slesazeck, S.
Konferenzbeitrag
2017Novel TSV metallization and simplified ECD processes for ultra-large scale integration (ULSI) technology
Esmaeili Dehkalani, M. Sajjad
: Lilienthal, Katharina (Betreuer); Adelung, Rainer (Betreuer)
Master Thesis
2017Numerische Optimierung von Mikroaktoren
Schuffenhauer, David
: Gaudet, Matthieu (Betreuer); Schenk, Harald (Betreuer)
Master Thesis
2017PEALD and pulsed CVD of Cobalt thin films using the precursor cyclopentadienylcobalt dicarbonyl
Hossbach, Christoph; Shukla, Shashank; Fischer, Dustin; Reif, Johanna; Bönhardt, Sascha; Geidel, Marion; Albert, Matthias; Bartha, Johann W.
Poster
2017A photonic smart system for food quality and safety sensing: First integration and measurement results
Bertani, Francesca Romana; Bourgos, Paraskevas; Businaro, Luca; Gambacorta, Lucia; Gerardino, Annamaria; Hintschich, Susanne; Koutalieris, Georgios; Logothesis, Marios; Martinelli, Eugenio; Nychas, George John; Solfrizzo, Michele; Tosic, Milenko; Wunder, Gerhard
Poster
2017Properties of ALD ferroelectric Si-doped HfO2 characterized with noncontact Corona-Kelvin metrology
Polakowski, Patrick; Müller, Johannes; Marinskiy, Dmitriy; Findlay, Andrew; Edelman, Piotr; Wilson, Marshall; Lagowski, Jacek; Metzger, Joachim; Binder, Robert
Vortrag
2017PVD and ALD process development of advanced oxide-based RRAM-stacks
Kalishetthyhalli Mahadevaiah, Mamathamba
: Müller, Johannes (Gutachter); Lakner, Hubert (Gutachter); Fischer, Wolf-Joachim (Gutachter)
Master Thesis
2017Real-time spectroscopy enabled by external cavity QCLs with MOEMS diffraction gratings
Butschek, Lorenz; Hugger, Stefan; Jarvis, Jan-Philip; Härtelt, Marko; Merten, André; Grahmann, Jan; Boskovic, Dusan; Fuchs, Frank; Ostendorf, Ralf; Schilling, Christian; Rattunde, Marcel; Wagner, Joachim
Konferenzbeitrag
2017Regelung nicht-resonanter Mikrospiegel mit elektrostatischem Kammantrieb
Schroedter, Richard; Janschek, Klaus
Vortrag
2017Reliability improvements of TiN/Al2O3/TiN for linear high voltage metal-insulator-metal capacitors using an optimized thermal treatment
Lefevre, A.; Ferreira, D.; Veillerot, M.; Barnes, J.-P.; Parat, G.; Czernohorsky, M.; Lallemand, F.
Zeitschriftenaufsatz
2017Repetitive flachheitsbasierte Folgeregelung von quasi-statischen Mikroscannern
Schroedter, Richard; Che, Xingqi; Roth, Matthias; Sandner, Thilo; Janschek, Klaus
Konferenzbeitrag
2017Repetitive flachheitsbasierte Folgeregelung von quasi-statischen Mikroscannern
Schroedter, Richard; Che, Xingqi; Roth, Matthias; Sandner, Thilo; Janschek, Klaus
Poster
2017RFID meets OPC-UA - transparent and secure integration of sensor nodes into industrial and cloud environments
Weder, Andreas; Grätz, Hagen; Voß, Kim; Deicke, Frank; Reichelt, Dirk
Konferenzbeitrag
2017RFID-Sensoren für das Internet der Dinge
Deicke, Frank
Zeitschriftenaufsatz
2017Seed-layer resistance and its impact on the electrochemical copper deposition
Wislicenus, Marcus; Gerlich, Lukas; Koch, Johannes; Uhlig, Benjamin
Vortrag
2017Sicherheitsmerkmal, Verfahren zum Herstellen eines Sicherheitsmerkmals und Verfahren zum Authentifizieren eines Benutzers unter Verwendung eines Sicherheitsmerkmals
Reinig, Peter; Knobbe, Jens; Hohle, Christoph
Patent
2017Silicon-doped hafnium oxide anti-ferroelectric thin films for energy storage
Ali, F.; Liu, X.; Zhou, D.; Yang, X.; Xu, J.; Schenk, T.; Müller, J.; Schroeder, U.; Cao, F.; Dong, X.
Zeitschriftenaufsatz
2017Smart hip prosthesis - an overview
Deicke, Frank
Vortrag
2017Spatially aware connectivity for wearables using Li-Fi technology
Noack, Alexander
Vortrag
2017A survey of carbon nanotube interconnects for energy efficient integrated circuits
Todri-Sanial, A.; Ramos, R.; Okuno, H.; Dijon, J.; Dhavamani, A.; Wislicenus, M.; Lilienthal, K.; Uhlig, B.; Sadi, T.; Georgiev, V.; Asenov, A.; Amoroso, S.; Pender, A.; Brown, A.; Millar, C.; Motzfeld, F.; Gotsmann, B.; Liang, J.; Goncalves, G.; Rupesinghe, N.; Teo, K.
Zeitschriftenaufsatz
2017Switching kinetics in nanoscale hafnium oxide based ferroelectric field-effect transistors
Mulaosmanovic, Halid; Ocker, Johannes; Müller, Stefan; Schroeder, Uwe; Müller, Johannes; Polakowski, Patrick; Flachowsky, Stefan; Bentum, Ralf van; Mikolajick, Thomas; Slesazeck, Stefan
Zeitschriftenaufsatz
2017Technological aspects of a new micro‑electro‑mechanical actuation principle: Nano‑e‑drive
Langa, Sergiu; Conrad, Holger; Kaiser, Bert; Stolz, Michael; Gaudet, Matthieu; Uhlig, Sebastian; Schimmanz, Klaus; Schenk, Harald
Zeitschriftenaufsatz
2017Tragbare Vorrichtung zur Übermittlung von personenbezogenen Daten an ein Verarbeitungssystem und das Verarbeitungssystem zum Ausgeben eines Steuersignals in Abhängigkeit der personenbezogenen Daten
Amelung, Jörg; Grüger, Heinrich
Patent
2017Trench filling with a-Si using a PE-CVD process and back etch sequence
Elsäßer, Linus; Naumann, A.
Konferenzbeitrag
2017A user-friendly guide to the optimum ultraviolet photolithographic exposure and greyscale dose of SU-8 photoresist on common MEMS, microsystems, and microelectronics coatings and materials
Gaudet, Matthieu; Arscott, Steve
Zeitschriftenaufsatz
2017Valence EELS below the limit of inelastic delocalization using conical dark field EFTEM or Bessel beams
Stöger-Pollach, M.; Schachinger, T.; Biedermann, K.; Beyer, V.
Zeitschriftenaufsatz
2017Vorrichtung und Verfahren zur Erzeugung eines optischen Musters aus Bildpunkten in einer Bildebene
Dürr, Peter; Mai, Alexander
Patent
2017Wireless industrial real-time networks with Li-Fi
Faulwaßer, Michael; Noack, Alexander; Ostermann, Robert; Schneider, Tobias; Zschorn, Christopher
Konferenzbeitrag
2016A 28nm HKMG super low power embedded NVM technology based on ferroelectric FETs
Trentzsch, M.; Flachowsky, S.; Richter, R.; Paul, J.; Reimer, B.; Utess, D.; Jansen, S.; Mulaosmanovic, H.; Müller, S.; Slesazeck, S.; Ocker, J.; Noack, M.; Müller, J.; Polakowski, P.; Schreiter, J.; Beyer, S.; Mikolajick, T.; Rice, B.
Konferenzbeitrag
2016Adaptives Prothesensystem - Entwicklung eines Prothesensystems zur Optimierung und adaptiven Anpassung der ossären Verankerung von Gelenkendoprothesen
Rotsch, Christian; Grätz, Hagen; Kluess, Daniel; Gille, Katarina; Heinig, Andreas; Schulze, Christian; Bader, Rainer; Hunger, Sandra; Töppel, Thomas; Drossel, Welf-Guntram
Konferenzbeitrag
2016Antenna design for a 24 GHz RFID tag with an on-chip-antenna
Heiss, Michael; Lischer, Sascha
Poster
2016Atomic layer deposition system for fast precursor screening
Shukla, Shashank; Hossbach, Christoph; Sundqvist, Jonas; Bönhardt, Sascha; Feddersen-Clausen, Oliver; Sharma, Varun; Albert, Matthias; Bartha, Johann W.
Poster
2016Aufbau und Inbetriebnahme eines Messplatzes für die Charakterisierung von gegeneinander rotierenden optisch-drahtlosen Transceiver-Modulen
Kunz, Julian Elias
: Noack, Alexander (Betr.); Ostermann, Robert (Betr.); Fischer, Wolf-Joachim (Betr.)
Diplomarbeit
2016Back-end-of-line integration technology of capacitive micromachined ultrasonic transducers (CMUT)
Amelung, Jörg; Klemm, Markus; Elsäßer, Linus; Kircher, Marco; Weder, Andreas; Pietzsch, Marcus; Heinig, Andreas; Müller, Michael; Grüger, Heinrich
Konferenzbeitrag
2016Back-End-of-Line integration technology of capacitive micromachined ultrasonic transducers (CMUT)
Koch, Sandro; Amelung, Jörg; Elsäßer, Linus; Kircher, Marco; Weder, Andreas; Pietzsch, Marcus; Heinig, Andreas; Müller, Michael
Vortrag
2016Capacitance transient spectroscopy measurements on high-k metal gate field effect transistors fabricated using 28nm technology node
Mchedlidze, T.; Drescher, M.; Erben, E.; Weber, J.
Konferenzbeitrag
2016Carbon-hydrogen complexes in n- and p-type SiGe-alloys studied by Laplace deep level transient spectroscopy
Stübner, Ronald; Kolkovsky, Vladimir; Weber, Jörg; Abrosimov, N.V.
Konferenzbeitrag
2016Catalytic ALD of SiO2 as spacer for an E-Beam direct write self-aligned double patterning process on 300 mm wafers
Kühnel, Kati; Riedel, Stefan; Weinreich, Wenke; Thrun, Xaver; Czernohorsky, Malte; Pätzold, Björn; Rudolph, Matthias
Vortrag
2016Characterization of low temperature plasma generated oxides on germanium based substrates
Poduval, Geedhika Kallidil
: Czernohorsky, Malte (Betreuer); Lakner, Hubert (Gutachter); Fischer, Wolf-Joachim (Gutachter)
Master Thesis
2016Charge-trapping phenomena in HfO2-based FeFET-type nonvolatile memories
Yurchuk, Ekaterina; Müller, Johannes; Müller, Stefan; Paul, Jan; Pesic, Milan; Benthum, Ralf van; Schroeder, Uwe; Mikolajick, Thomas
Zeitschriftenaufsatz
2016Correlation between the macroscopic ferroelectric material properties of Si:HfO2 and the statistics of 28nm FeFET memory arrays
Mueller, S.; Slesazeck, S.; Henker, S.; Flachowsky, S.; Polakowski, P.; Paul, J.; Smith, E.; Müller, J.; Mikolajick, T.
Zeitschriftenaufsatz
2016CVD-CoXN for advanced semiconductor metallization
Dhavamani, Abitha; Wislicenus, Marcus; Gerlich, Lukas; Uhlig, Benjamin
Vortrag
2016Development and electrical characterization of a metal-ferroelectric-insulator semiconductor FET test structure
Ali, Tarek
: Müller, Johannes (Betreuer); Lakner, Hubert (Betreuer); Heyns, Marc
Master Thesis
2016Enhanced dielectric properties of thin Ta2O5 films grown on 65 nm SiO2/Si
Kolkovsky, V.; Kurth, E.; Kunath, C.
Zeitschriftenaufsatz
2016Evaluation of water based intelligent fluids for resist stripping in single wafer cleaning tools
Rudolph, Matthias; Esche, Silvio; Hohle, Christoph; Schumann, Dirk; Steinke, Philipp; Thrun, Xaver; Sonntag, Justus von
Konferenzbeitrag
2016Experimentalaufbau zur Messung vertikaler Oberflächen von mikromechanischen Aktoren am DHM
Lemcke, Klaus Benjamin
Bachelor Thesis
2016Experimentelle Untersuchungen an lateralen elektrostatischen Nanoaktoren
Stolz, Michael
: Schenk, Harald (Betr.); Seibold, Götz (Betr.)
Master Thesis
2016Eye safety analysis for non-uniform retinal scanning laser trajectories
Schelinski, Uwe; Dallmann, Hans-Georg; Grüger, Heinrich; Knobbe, Jens; Pügner, Tino; Reinig, Peter; Woittennek, Franziska
Konferenzbeitrag
2016Fabrication and characterization of a novel electrostatic actuator
Gaudet, Matthieu
Vortrag
2016FAST LIGHT: Möglichkeiten der Li-Fi Kommunikation aus technischer Sicht
Noack, Alexander
Vortrag
2016Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme. Jahresbericht 2015
 
Jahresbericht
2016Geometric and chemical components of the giant piezoresistance in silicon nanowires
McClarty, M.M.; Jegenyes, N.; Gaudet, M.; Toccafondi, C.; Ossikovski, R.; Vaurette, F.; Arscott, S.; Rowe, A.C.H.
Zeitschriftenaufsatz
2016Hardware-Software-System zum ambulanten EKG-Monitoring unter Routinebedingungen
Noack, Alexander
Dissertation
2016HF-release of sacrificial layers in CMOS-integrated MOEMS structures
Döring, Sebastian; Friedrichs, Martin; Pufe, Wolfram; Schulze, Matthias
Poster
2016HF-release of sacrificial layers in CMOS-integrated MOEMS structures
Döring, Sebastian; Friedrichs, Martin; Pufe, Wolfram; Schulze, Matthias
Zeitschriftenaufsatz
2016High endurance strategies for hafnium oxide based ferroelectric field effect transistor
Müller, J.; Polakowski, P.; Müller, S.; Mulaosmanovic, H.; Ocker, J.; Mikolajick, T.; Slesazeck, S.; Flachowsky, S.; Trentzsch, T.
Konferenzbeitrag
2016Hyperspectral image analysis for standoff trace detection using IR laser spectroscopy
Jarvis, J.P.; Fuchs, F.; Hugger, S.; Ostendorf, R.; Butschek, L.; Yang, Q.; Dreyhaupt, A.; Grahmann, J.; Wagner, J.
Konferenzbeitrag
2016Identification of carbon-hydrogen complexes in n- and p-type silicon
Stübner, Ronald; Kolkovsky, Vladimir; Scheffler, Leopold; Weber, Jörg
Zeitschriftenaufsatz
2016Impact of field cycling on HfO2 based non-volatile memory devices
Schroeder, U.; Pesic, M.; Schenk, T.; Mulaosmanovic, H.; Slesazeck, S.; Ocker, J.; Richter, C.; Yurchuk, E.; Khullar, K.; Müller, J.; Polakowski, P.; Grimley, E.D.; LeBeau, J.M.; Flachowsky, S.; Jansen, S.; Kolodinski, S.; Bentum, R. van; Kersch, A.; Künneth, C.; Mikolajick, T.
Konferenzbeitrag
2016Implementation und Konfiguration eines Linux-Systems auf ein Xilinx Zynq-SoC-System
Lehl, Dmitrij
: Grafe, Mario (Betreuer); Schönherr, J. (Betreuer)
Diplomarbeit
2016In situ bow change of Al-alloy MEMS micromirrors during 248-nm laser irradiation
Mai, Alexander; Bunce, Christopher; Hübner, René; Pahner, Daniel; Dauderstädt, Ulrike
Zeitschriftenaufsatz
2016The influence of adsorption kinetics on copper superfilling for dual damascene
Liske, Romy; Krause, Robert; Uhlig, Benjamin; Gerlich, Lukas; Bott, Sascha; Wislicenus, Marcus; Preusse, Axel
Zeitschriftenaufsatz
2016Influence of annealing in H atmosphere on the electrical properties of Al2O3 layers grown on p-type Si by the atomic layer deposition technique
Kolkovsky, V.; Stübner, R.; Langa, S.; Wende, U.; Kaiser, B.; Conrad, H.; Schenk, H.
Zeitschriftenaufsatz
2016Influence of the applied charge on the electro-chemical degradation in green phosphorescent organic light emitting diodes
de Moraes, I.R.; Scholz, S.; Leo, K.
Zeitschriftenaufsatz
2016Innovative Energieoptimierung. Forschungsprojekt soll Energiemanagement revolutionieren
Hörschelmann, L.; Reichelt, D.
Zeitschriftenaufsatz
2016Integration von Maschinendaten in eine Big-Data-Lösung am Beispiel von Halbleiter-Frontendtools
Schmidt, Martin
: Reichelt, Dirk (Betreuer); Gehrhardt, Ingolf (Betreuer)
Master Thesis
2016Der intelligente Mobilitätsassistent - Unterstützung der autonomen Mobilität älterer Menschen
Weder, Andreas; Pietzsch, Marcus; Heinig, Andreas
Vortrag
2016Investigation of the influence of the sample topography on the measurement uncertainty of a scanning white light interferometer
Adapa, Bharath Reddy
: Skupsch, Christoph (Betr.); Lemmer, Uli (Betr.)
Master Thesis
2016IoT Future: Visible Light Communication/Light Fidelity
Noack, Alexander
Vortrag
2016La-doped ZrO2 based Back End of Line (BEoL) decoupling capacitors
Weinreich, Wenke; Seidel, Konrad; Polakowski, Patrick; Drescher, Maximilian; Gummenscheimer, A.; Nolan, M.G.; Cheng, L.; Triyoso, D.H.
Poster
2016La-doped ZrO2 based BEoL decoupling capacitors
Weinreich, W.; Seidel, K.; Polakowski, P.; Drescher, M.; Gummenscheimer, A.; Nolan, M.G.; Cheng, L.; Triyoso, D.H.
Konferenzbeitrag
2016Laser-induced periodic surface structures of thin, complex multi-component films
Reif, J.; Varlamova, O.; Ratzke, M.; Uhlig, S.
Zeitschriftenaufsatz
2016Li-Fi communication for industrial real-time data links
Faulwaßer, Michael
Vortrag
2016Li-Fi interconnects for embedded designs in industry 4.0
Faulwaßer, Michael; Deicke, Frank; Ostermann, Robert; Schneider, Tobias
Konferenzbeitrag
2016Licht - eine Alternative zu Funk?
Deicke, Frank; Faulwaßer, Michael
Zeitschriftenaufsatz
2016Lichtausbreitung in einstellbaren Mikroringresonatoren
Martin, Anja
: Costache, Florenta (Betr.); Hartmann, Peter (Betr.)
Master Thesis
2016Liquid crystal waveguide switch for fast fiber optic sensor monitoring
Blasl, M.; Costache, F.
Konferenzbeitrag
2016Lithographische Techniken für die hochauflösende Zell-Mikroskopie: Strahlformung in der Biologie mit strukturierten UV-Schichten
Heber, Jörg; Rückerl, F.; Berndt, Dirk; Schmidt, Jan; Bellow, S.; Tivenez, J.-Y.; Knobbe, Jens; Shorte, S.L.; Wagner, Michael
Vortrag
2016Low-temperature microwave-based plasma oxidation of Ge and oxidation of silicon followed by plasma nitridation
Lerch, W.; Schick, T.; Sacher, N.; Kegel, W.; Niess, J.; Czernohorsky, M.; Riedel, S.
Konferenzbeitrag
2016LPCVD in-situ doped silicon for thermoelectric applications
Calvo, J.; Müller, M.; Sauer, B.; Drescher, M.; Schmidt, C.; Völklein, F.; Wagner-Reetz, M.
Vortrag
2016MEMS-mirror based trajectory resolution and precision enabled by two different piezoresistive sensor technologies
Grahmann, Jan; Dreyhaupt, André; Drabe, Christian; Schroedter, Richard; Kamenz, Jörg; Sandner, Thilo
Konferenzbeitrag
2016MEMS-Wandler zum Interagieren mit einem Volumenstrom eines Fluids und Verfahren zum Herstellen desselben
Schenk, Harald; Conrad, Holger; Gaudet, Matthieu; Schimmanz, Klaus; Langa, Sergiu
Patent
2016Micro scanning mirrors and enabling technology for applied optics
Sandner, Thilo
Konferenzbeitrag
2016Migration from CAN to CAN FD - how to boost network performance
Hildebrandt, Ralf; Deicke, Frank
Konferenzbeitrag
2016Mikromechanische Vorrichtung mit einem aktiv biegbaren Element
Gaudet, Matthieu; Schimmanz, Klaus; Stolz, Michael; Langa, Sergiu; Kaiser, Bert
Patent
2016Miniaturized NIR scanning grating spectrometer for use in mobile phones
Knobbe, Jens; Pügner, Tino; Grüger, Heinrich
Konferenzbeitrag
2016Mobilitätsassistent "MOVEAS" - Unterstützung der Mobilität älterer Menschen
Weder, Andreas; Pietzsch, Marcus; Heinig, Andreas
Vortrag
2016MOEMS based scanning grating facilitates miniaturization and tuning speed enhancement of an EC-QCL towards a µEC-QCL for real time spectroscopic sensing
Grahmann, Jan
Konferenzbeitrag
2016Near-infrared grating spectrometer for mobile phone applications
Pügner, T.; Knobbe, J.; Grüger, H.
Zeitschriftenaufsatz
2016Novel applications of photonic micro sensor systems: Real-world examples from plastics recycling to burglary monitoring
Reinig, Peter
Vortrag
2016A novel electrostatic actuator class
Conrad, Holger; Kaiser, Bert; Gaudet, Matthieu; Langa, Sergiu; Stolz, Michael; Uhlig, Sebastian; Schimmanz, Klaus; Schenk, Harald
Zeitschriftenaufsatz
2016A novel electrostatic micro-actuator class and its application potential for optical MEMS
Schenk, Harald; Conrad, Holger; Gaudet, Matthieu; Uhlig, Sebastian; Kaiser, Bert; Langa, Sergiu; Stolz, Michael; Schimmanz, Klaus
Konferenzbeitrag
2016Patterning and Imaging with Electrons: Assessing Multi-Beam SEM for e-Beam Structured CMOS Samples
Garbowski, Tomasz; Panteleit, Friedhelm; Dellemann, Gregor; Gutsch, Manuela; Hohle, Christoph; Reich, Elke; Rudolph, Matthias; Steidel, Katja; Thrun, Xaver; Zeidler, Dirk
Konferenzbeitrag
2016Plano-convex variable focal length micro-lens with a polymer nanocomposite actuator
Pawlik, Boscij; Rieck, Andreas; Costache, Florenta
Zeitschriftenaufsatz
2016Predictive Maintenance mittels Big Data
Reichelt, Dirk
Vortrag
2016Prozessanalyse der Tetramethylammoniumhydroxid-Ätzung von Silizium zur Qualitätsverbesserung optischer Gitter
Benter, Sandra
: Schnabel, Hans-Dieter (Betr.); Kaden, Christiane (Betr.)
Bachelor Thesis
2016Raman tensor elements of β-Ga2O3
Kranert, C.; Sturm, C.; Schmidt-Grund, R.; Grundmann, M.
Zeitschriftenaufsatz
2016Reaktives Ionenätzen zur Mehrfachstrukturierung und Elektrodentrennung für Kondensatoranwendungen in der Halbleiterindustrie
Pätzold, Björn
: Hohle, Christoph; Rudolph, Matthias; Rennekamp, Reinhold
Master Thesis
2016Real-time closed-loop control for micro mirrors with quasistatic comb drives
Schroedter, Richard; Sandner, Thilo; Janschek, Klaus; Roth, Matthias; Hruschka, Clemens
Konferenzbeitrag
2016Recent advances and applications of external Cavity-QCLs towards hyperspectral imaging for standoff detection and real-time spectroscopic sensing of chemicals
Ostendorf, R.; Butschek, L.; Hugger, S.; Fuchs, F.; Yang, Q.; Jarvis, J.; Schilling, C.; Rattunde, M.; Merten, A.; Grahmann, J.; Boskovic, D.; Tybussek, T.; Rieblinger, K.; Wagner, J.
Zeitschriftenaufsatz
2016Requirements and challenges for MEMS on CMOS
Schulze, Matthias
Vortrag
2016RF simulation of the transmission path of a RFID backscatter transponder between reader and transponder antenna with ANSYS HFSS
Zhai, Wenqian
: Fischer, Wolf-Joachim (Betreuer); Heiß, Michael (Betreuer)
Master Thesis
2016RFID meets OPC UA - wie man mittels Standardisierung Integrations-Aufwand verringert
Reichelt, Dirk
Vortrag
2016RFID-Sensor Transponder - "smarte" Integration mittels OPC-UA
Weder, Andreas; Reichelt, Dirk
Vortrag
2016RFID-Transponder mit einer integrierten Antennenanordnung
Heiß, Michael
Patent
2016RTLS based services by APP based indoor localization and navigation
Scheibner, Christian; Voß, Kim
Vortrag
2016Scanning optical MEMS with very high frequencies
Drabe, Christian; Graßhoff, Thomas; Todt, Ulrich; Flemming, André; Sandner, Thilo; Grahmann, Jan
Vortrag
2016Schallwandlerarray mit gekoppelten Wandlern
Klemm, Markus; Elsäßer, Linus; Unamuno-Eguren, Anartz; Kupnik, Mario; Unger, Alexander
Patent
2016Simulation und Charakterisierung eines neuartigen mikromechanischen elektrostatischen Aktors
Kaiser, Bert
: Schenk, Harald (Betreuer); Bestehorn, Michael (Betreuer); Kupnik, Mario (Betreuer)
Dissertation
2016Size reduction of RFID tags by using an on-chip antenna
Heiß, Michael; Lischer, Sascha
Konferenzbeitrag
2016Smart walls with wireless humidity measurement
Heiß, Michael; Hildebrandt, Ralf; Scheibner, Christian
Konferenzbeitrag
2016Spatially resolved scatter measurement of diffractive micromirror arrays
Sicker, Cornelius; Heber, Jörg; Berndt, Dirk
Zeitschriftenaufsatz
2016Spatio-angular illumination control using diffractive micromirror arrays
Heber, Jörg; Rückerl, Florian; Berndt, Dirk; Schmidt, Jan; Bellow, Sebastien; Tinevez, Jean-Yves; Knobbe, Jens; Shorte, Spencer; Wagner, Michael
Konferenzbeitrag
2016Status of ferroelectric HfO2 based 1T FeFET memories
Mikolajick, T.; Schroeder, U.; Slesazeck, S.; Müller, S.; Schenk, T.; Müller, J.
Vortrag
2016System design of programmable 4f phase modulation techniques for rapid intensity shaping - a conceptual comparison
Roth, Matthias; Heber, Jörg; Janschek, Klaus
Konferenzbeitrag
2016A thermally robust and thickness independent ferroelectric phase in laminated hafnium zirconium oxide
Riedel, S.; Polakowski, P.; Müller, J.
Zeitschriftenaufsatz
2016Track & trace scenarios to increase shop floor flexibility and productivity
Reichelt, Dirk
Vortrag