Verbesserte Zusatzausrüstung für C-Au-C-Au-.. -Beschichtungen mit dem Balzers-Gerät MED 010

Hoffmann, C.C.HoffmannDian, R.R.DianWiegert, J.J.Wiegert2022-03-022022-03-021988https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/175350deAu-BeschichtungC-BeschichtungRasterelektronenmikroskopie621667Verbesserte Zusatzausrüstung für C-Au-C-Au-.. -Beschichtungen mit dem Balzers-Gerät MED 010journal article