Michel, B.B.MichelSommer, J.-P.J.-P.SommerKrause, F.F.KrauseWinkler, T.T.WinklerFaust, W.W.Faust2022-03-092022-03-091995https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/324056de621Bruchmechanische Untersuchungen zur Zuverlässigkeitsbewertung mikrotechnischer Aufbautenconference paper