Mikrodrucksensoren in Siliziumtechnologie

Mokwa, WilfriedWilfriedMokwaDudaicevs, HaraldHaraldDudaicevs2022-03-072022-03-071993https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/287214de621Mikrodrucksensoren in Siliziumtechnologiebook