Thiel, J.J.ThielMichel, D.D.MichelFranz, A.A.Franz2022-03-082022-03-081998https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/303847de608670658Absolutinterferometrisches Messverfahren mit einer LaserinterferometeranordnungAbsolute interferometric measuring process and suitable laser interferometer setuppatent1993-4314486