Klumpp, B.B.Klumpp2022-03-082022-03-081993https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/321370Übersichtsvortrag über die Beurteilung von Partikelmerkmalen sowie die verschiedenen Möglichkeiten der Detektion auf Oberflächen. Behandelt werden licht- und elektro-optische direkte Verfahren sowie indirekte Verfahren zur Probennahme.deOberflächeparticle measurementPartikelmeßtechnikTeilchen670Partikelmessung auf Oberflächenconference paper