Degenhart, E.E.DegenhartGeißinger, J.J.Geißinger2022-03-082022-03-081991https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/319047Ziel der reinraumgerechten Konstruktion ist es, die Partikelemission vor allem in dem Bereich des Fertigungssystems zu minimieren, in dem die Produkte offen gehandhabt werden müssen. Die vorgestellten Ergebnisse resultieren aus Partikelmessungen und Partikelanalyse an einem repräsentativen Spektrum von Baugruppen wie Motoren, Führungen, Antriebssystemen und Fertigungsgeräten. Für diese Untersuchungen wurde eine allgemeingültige Meßvorgehensweise entwickelt.decleanroomMessenPartikelmessungReinraumReinraumtauglichkeitSuitabilityTeilchen670conference paper