Wünsch, DirkDirkWünschHofmann, ChristianChristianHofmannBesser, J.J.BesserSchubert, I.I.SchubertGottfried, KnutKnutGottfriedWiemer, MaikMaikWiemerGeßner, ThomasThomasGeßner2022-03-112022-03-112011https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/375398en3D Integration for MEMS devices using photosenitive glassconference paper