Gommel, U.U.Gommel2022-03-092022-03-091998https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/330522Die Thematik der Reinraumtechnik wird anhand von Begriffsdefinitionen und zahlreichen Beispielen zu den Themen wie Anwendungsgebiete der Reinraumtechnologie, Kontaminationarten und -mechanismen, Reinheitsklassifizierung, Strömungsformen sowie bauliche Reinraum-Varianten und deren Investitions- und Betriebskosten anschaulich erklärt. Da der Mensch im Reinraum eine Partikelquelle darstellt, wird durch das Aufzeigen der Auswirkungen unterschiedlicher Verhaltens- und Bekleidungsvarianten auf die Reinheit, das reinraumgerechte Verhalten des Personals geschult. Abschließend wird ein Abriß über Innovationen und Trends in der Reinraumtechnik und der Personaleinbindung in die reine Produktion erstellt.deBekleidungcleanroomHalbleiterKontaminationKostenminienvironmentPartikelkonzentrationPersonalProdukt (Erzeugnis)ReinraumanwendungReinraumtechniksemiconductorStrömungstechnikTeilchenwafer670conference paper