Wibbeler, J.J.WibbelerSteiniger, C.C.SteinigerWolf, K.K.WolfSymanzik, H.H.SymanzikDötzel, W.W.DötzelMehner, J.J.Mehner2022-03-092022-03-091999https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/333755de621Abstimmbare resonante Sensorarrays in oberflächennaher Si-Bulk-Mikromechanikconference paper