Bubenzer, A.A.BubenzerDischler, B.B.DischlerKoidl, P.P.Koidl2022-03-022022-03-021983https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/17183210.1063/1.94056enBenzolBeschichtungBrechzahlC-Bindung(dreifach, zweifach, einfach)DampfHochfrequenzMikrostrukturoptische Absorptionplasma621667Hard carbon coatings with low optical absorption.Harte Kohlenstoffbeschichtungen mit geringer optischer Absorptionjournal article