Zimmer, O.O.Zimmer2022-03-062022-03-061995https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/272320de667621671Meßtechnische Realisierung eines neuen Verfahrens zur zweidimensionalen Lageerkennung und -steuerung des Vakuumbogenbrennflecks auf einer industrieüblichen Rechteckkathodediploma thesis