Böhm, A.A.BöhmScholl, R.R.SchollKleinschmidt, U.U.KleinschmidtKieback, B.B.Kieback2022-03-032022-03-031999https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/195736de620660671600Pulvermetallurgische Herstellung von Sputtertargets für die Dünnschichttechnikjournal article