Beyer, EckhardLeyens, ChristophEnglberger, GregorGregorEnglberger2022-03-072022-03-072018https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/282597Die vorliegende Arbeit beschäftigt sich mit der Entwicklung eines Plasmafilters für die Herstellung defektarmer wasserstofffreier Kohlenstoffschichten (ta-C) auf Basis einer leistungsfähigen gepulsten Vakuumbogentechnologie sowie der Charakterisierung der mit dieser Technologie abgeschiedenen Schichten.1 Vorwort // 2 Stand der Technik // 2.1 Kohlenstoff // 2.2 Herstellung von ta-C-Schichten // 2.3 Makropartikel // 2.4 Plasmafilterung // 2.5 Beschichtungsanlage und Komponenten // 2.6 Mess- und Analysetechnik // 3 Zielstellung der Arbeit // 4 Ergebnisse und Diskussion // 4.1 Ausgangszustand des ungefilterten Laser-Arc-Moduls // 4.2 Effektivitätssteigerung des Laser-Arc-Moduls // 4.3 Plasmafilter // 4.4 Prozessentwicklung // 4.5 Charakterisierung von plasmagefilterten ta-C-Schichten // 5 Zusammenfassung und Ausblick // 6 Nomenklatur // 7 LiteraturverzeichnisdePlasmafilterta-C-SchichtenKohlenstoffschichtPVDDLCIm621671doctoral thesis