Weinreich, WenkeWenkeWeinreichMart, ClemensClemensMartKühnel, KatiKatiKühnelKämpfe, ThomasThomasKämpfeCzernohorsky, MalteMalteCzernohorsky2022-03-142022-03-142019https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/408865en621Doping hafnium oxide by in-situ precursor mixingpresentation