Einsatzmöglichkeiten des Flächendetektors zur röntgenographischen Spannungsmessung in der Mikrosystemtechnik

Kämpfe, B.B.KämpfeSchubert, A.A.SchubertGoldenbogen, S.S.GoldenbogenTränkner, K.K.Tränkner2022-03-092022-03-091995https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/324212de621Einsatzmöglichkeiten des Flächendetektors zur röntgenographischen Spannungsmessung in der Mikrosystemtechnikconference paper