Gommel, U.U.Gommel2022-03-092022-03-092002https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/339951Die Zahl der Betriebsmittel die in reinen Umgebungen (z. B. Mikroelektronik, Pharmazie, Lebensmittelindustrie, Medizintechnik) eingesetzt werden, steigt stetig an. Der Ruf der Hersteller und Anwender nach der Klärung der Frage, ob die Betriebsmittel den geforderten Reinheitskriterien gerecht werden, wird immer stärker. Hierfür bedarf es an standardisierten Prüfprozeduren für die objektive Qualifizierung des Kontaminationsverhalten von Betriebsmitteln sowie einer abschließenden Bewertung.deKontaminationsquelleQualifizierungReinheitsklasseReinraumtauglichkeitproduction equipmentqualificationcontamination sourcecleanroom suitability cleanliness classcleanroom techniqueReinraumtechnikKontaminationBetriebsmittel670conference paper