Birkner, K.K.BirknerHellwig, G.G.HellwigSchindler, B.B.SchindlerBauser, H.H.Bauser2022-03-022022-03-021983https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/171954deGrenzflächeModifizierungSchicht(dünn)Sputter-Schicht610620660Modifizierung von Grenzflaechen durch duenne Sputter-Schichtenjournal article