Platzgummer, E.E.PlatzgummerBiedermann, A.A.BiedermannLangfischer, H.H.LangfischerEder-Kapl, S.S.Eder-KaplKuemmel, M.M.KuemmelCernusca, S.S.CernuscaLoeschner, H.H.LoeschnerLehrer, C.C.LehrerFrey, L.L.FreyLugstein, A.A.LugsteinBertagnolli, E.E.Bertagnolli2022-03-102022-03-102006https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/35286610.1016/j.mee.2006.01.140en670620530621Simulation of ion beam direct structuring for 3D nanoimprint template fabricationconference paper