Guethenke, G.G.GuethenkeSinhoff, V.V.SinhoffBerton, F.F.BertonSchmidt, C.C.Schmidt2022-03-082022-03-082002https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/305474de608670658Verfahren und Vorrichtung zum Vereinzeln von scheibenfoermigen Substraten, insbesondere zur Waferherstellungpatent1999-19900671