Berger, C.C.BergerHöfler, H.H.HöflerFichter, O.O.Fichter2022-03-082022-03-081989https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/302215Eine Kamera zur Erfassung der Topographie einer Prueflingsoberflaeche durch Erzeugen eines Moire-Bildes mit Hilfe eines auf dem Objekt aufgebrachten Objektgitters verfuegt ueber einen CCD-Sensor mit einem Referenzgitter (8), das unmittelbar auf die Lichteintrittsflaeche (4) des CCD-Sensors als physikalische Gitterstruktur aufgebracht ist.de608621patent1988-3817559