Koch, Sandro G.Sandro G.KochKircher, MarcoMarcoKircherGrafe, MarioMarioGrafe2022-03-132022-03-132017https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/399117de621Kapazitive mikromechanische Ultraschallsysteme (CMUT) für die zerstörungsfreie Materialcharakterisierung und -überwachungpresentation