Baum, MarioMarioBaumGeßner, ThomasThomasGeßner2022-03-042022-03-042007https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/215049Mit beweglichen Sensorelementen aus Silizium lassen sich kleinste Neigungswinkel genau detektieren. Die dazu nötigen Mikrostrukturen werden mithilfe moderner Ätzprozesse kostengünstig hergestellt. Dank herausragender technischer Leistungsparameter sind derartige Sensoren auch für ein breites Anwendungsspektrum geeignet.de620journal article