Mack, A.A.MackSauter, K.-D.K.-D.SauterWohnhas, S.S.Wohnhas2022-03-022022-03-021988https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/175144Der Artikel behandelt Strategien zur Vermeidung von Umhordevorgaengen in der Halbleiterfertigung. Mit Hilfe dieser Strategien werden Moeglichkeiten zur Optimierung von Materialfluss und Handhabungsvorgaengen aufgezeigt. (IPA)decarrierHalbleiterfertigungMaterialfluss670537journal article