Heber, JörgJörgHeberRückerl, F.F.RückerlBerndt, DirkDirkBerndtSchmidt, JanJanSchmidtBellow, S.S.BellowTivenez, J.-Y.J.-Y.TivenezKnobbe, JensJensKnobbeShorte, S.L.S.L.ShorteWagner, MichaelMichaelWagner2022-03-132022-03-132016https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/393442de621Lithographische Techniken für die hochauflösende Zell-Mikroskopie: Strahlformung in der Biologie mit strukturierten UV-Schichtenpresentation