VORRICHTUNG ZUR UEBERWACHUNG VON ABSICHTLICHEN ODER UNVERMEIDBAREN SCHICHTABSCHEIDUNGEN UND VERFAHREN

Ziegler, J.J.ZieglerWaller, R.R.WallerPfitzner, L.L.PfitznerSchneider, C.C.SchneiderRyssel, H.H.RysselTegeder, V.V.Tegeder2022-03-082022-03-082003https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/305957de608670620530VORRICHTUNG ZUR UEBERWACHUNG VON ABSICHTLICHEN ODER UNVERMEIDBAREN SCHICHTABSCHEIDUNGEN UND VERFAHRENpatent1999-19929615