Forke, R.R.ForkeScheibner, D.D.ScheibnerHiller, K.K.HillerGessner, T.T.GessnerDötzel, W.W.DötzelMehner, J.J.Mehner2022-03-102022-03-102007https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/357357deSpektrale Vibrationsmessung mit mikromechanischen kraftgekoppelten Silizium-Schwingernconference paper