Ruhl, G.G.RuhlSchroecke, V.V.Schroecke2022-03-082022-03-081997https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/303730de608621Verfahren und Vorrichtung zur Erfassung von atomarem Wasserstoff in einem Mikroelektronik-Fertigungsreaktorpatent1995-19534742