Kalies, GritUhlig, BenjaminNagy, NicoleNicoleNagy2022-03-072022-03-072015https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/280637de621Untersuchung des Korrosionsverhaltens von kobalthaltigen Dünnschichten für den Einsatz in der Halbleitertechnologiemaster thesis