Hofmann, U.U.HofmannBaumann, S.S.BaumannOldsen, M.M.OldsenJanes, J.J.JanesWagner, B.B.Wagner2022-03-112022-03-112009https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/364840de621Waferlevel-Vakuum gekapselte 2D-Mikrospiegel-Scanner für kompakte Laserprojektions-Displays im Automobilconference paper