Keller, MarkusMarkusKeller2022-03-102022-03-102008https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/359299Die Auswahl von passenden Werkstoffen für die reine Produktion spielt eine immer größere Rolle. Geeignete Werkstoffe erzeugen bei Reibung eine sehr geringe Partikelabgabe, gasen keine kritischen Kontaminanten aus (VOC, Siloxane, Amine, Organophosphate, Phthalate, ...), haben sehr gute elektrostatische Eigenschaften, sind gegen die eingesetzten Chemikalien chemisch beständig und sind nicht verstoffwechselbar. Für all diese Faktoren werden Prüfmethoden vorgestellt. Die Ergebnisse werden klassifiziert und in den Datenbanken "Tested Device" und "Cleanroom Suitable Materials CSM" veröffentlicht.deReinraumtauglichkeitAusgasungEmissionsverhaltenKlassifizierungCleanroom suitable materials (CSM)Electrostatic Discharge ESDchemische BestaendigkeitVerstoffwechselbarkeitReinraumWerkstoffTeilchenconference paper