Schmutz, W.W.Schmutz2022-03-022022-03-021989https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/177310Ein Weg, der in der Reinraumtechnik zur Realisierung solch hoher Anforderungen zur Kostenreduktion gegangen werden kann, ist die Entwicklung von "lokalen Reinräumen", bei denen die Fertigungsgeräte mit eigenen Reinräumen nach den gerätespezifischen Anforderungen konstruiert werden. Dazu gehören auch transportable lokale Reinräume, in denen das Produkt von Fertigungsinsel zu Fertigungsinsel transportiert wird. Die konsequente Kapselung der kritischen Prozeßumgebung mit modular aufgabauten lokalen Reinräumen ist eine Alternative mit Zukunft. Für die verschiedenen Fertigungsbereiche und die zugehörigen Fertigungsgeräte bieten sich folgende Möglichkeiten für die Realisierung eines geräteinternen Reinstraums: - direktes Einleiten des Laminarflows in das Gerät - Versorgung aus externem Lüftungssystem sowie eine - geräteinterne Lüftung. Voraussetzung ist dabei jedoch, daß durch bewegte Maschinenelemente in der Prozeßumgebung keine Partikel generiert werden. Lokale Reinräume sind deshalb ebenf alls wie bisherige Großreinräume nur in Verbindung mit reinraumgerechtem Equipment erfolgreich einsetzbar. Die Möglichkeit lokaler Mikroklimatisierung in den geräteinternen Reinsträumen schafft aber auch prozeßtechnisch neue Möglichkeiten.deaktive SMIF-Boxlaminar flowlocal clean roomlokaler ReinraumMikroklimatisierungminimization of particlesPartikelminimierungReinraumReinraumklasseSMIFSMIF-InterfaceSMIF SystemTeilchen670338journal article